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胡佳
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1
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供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
叶超
苏州大学物理科学与技术学院能源...
徐轶君
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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徐轶君
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胡佳
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叶超
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1篇
2010
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CHF3双频电容耦合放电等离子体特性研究
2010年
研究了用于SiCOH低介电常数薄膜刻蚀的CHF3气体在13.56MHz/2MHz,27.12MHz/2MHz和60MHz/2MHz双频电容耦合放电时的等离子体性质.发现2MHz低频源功率的增大主要导致F基团密度的增大;而高频频率从13.56,27.12增大到60MHz,导致CF2基团的密度增大和电极之间F基团密度的轴向空间不均匀性增加.根据电子温度的分布规律及离子能量随高频源频率的变化关系,提出CF2基团的产生主要通过电子-中性气体碰撞,而F基团的产生是离子-中性气体碰撞的结果.
胡佳
徐轶君
叶超
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