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郝永存

作品数：33 被引量：1H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 8篇微机电系统
  • 8篇机电系统
  • 8篇电系统
  • 7篇陀螺
  • 6篇电阻
  • 6篇弱耦合
  • 6篇静电
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇点火
  • 5篇推进器
  • 4篇燃烧
  • 4篇微机械谐振器
  • 4篇微推进
  • 4篇微推进器
  • 4篇谐振器
  • 4篇惯性测量
  • 3篇多晶
  • 3篇多晶硅

机构

  • 33篇西北工业大学

作者

  • 33篇郝永存
  • 21篇常洪龙
  • 21篇谢建兵
  • 13篇苑伟政
  • 7篇申强
  • 5篇杨勇
  • 5篇袁广民
  • 5篇袁建平
  • 5篇周金秋
  • 4篇张和民
  • 2篇谢中建
  • 2篇陈磊
  • 2篇李小平
  • 2篇周平伟
  • 2篇洪水金
  • 2篇张钊
  • 1篇赵海涛

传媒

  • 1篇物联网技术

年份

  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2013
  • 4篇2012
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于弱耦合微机械谐振器的高灵敏度电压测量装置及测量方法
本发明公开了一种高灵敏度电压测量方法及装置，属于电子测量仪器领域。包括了电压测量芯片及信号处理电路，电压测量芯片包括了不低于两个，通过机械耦合梁或者静电耦合连接在一起的弱耦合谐振器、电压输入电极、检测电极和驱动电极。电压...
常洪龙梁家驹严子木康昊郝永存
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一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法
本发明公开了一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法以普通硅片作为基片，生长底层SiO<Sub>2</Sub>膜或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>膜；溅射热敏元件薄膜和金属电连...
常洪龙杨勇谢中建郝永存谢建兵袁广民
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基于SOI硅片的微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明公开了一种基于SOI硅片的微型半球谐振陀螺及其制备方法，属于微/纳加工制造领域。该陀螺驱动电极16和敏感电极17通过内有半球空腔的结构硅体1被多条径向的结构硅槽14分割形成的独立硅块构成，其相对半球谐振子8的面积增...
谢建兵郝永存常洪龙张和民苑伟政
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微型固态化学推进器的制备方法
本发明涉及一种微型推进器的制作方法，属于微机电系统制造领域。该方法综合利用了金属铝薄膜工艺和金属剥离工艺，首先在硅片表面溅射金属铝，光刻，以铝为掩模DRIE得到燃烧室和喷嘴；再在玻璃片表面通过剥离工艺得到点火器，再通过剥...
苑伟政申强郝永存张和民谢建兵
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电阻置顶型微推进器及其制备方法
本发明公开了一种电阻置顶型微推进器及其制备方法，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该微推进器点火电阻7由多组电阻丝组成，且电阻丝宽度与电阻丝长度设计成一定比例，以调整燃料燃烧行为，利于燃料充分燃烧；喷嘴4为中间...
谢建兵郝永存李小平申强
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一种全耦合MEMS音叉陀螺
本发明涉及一种全耦合MEMS音叉陀螺，包括：包括：锚点结构，锚点结构上悬空设置有悬浮结构；其中，悬浮结构包括两个对称设置的悬浮单元，每个悬浮单元包括驱动质量块、科氏质量块以及敏感质量块，两个敏感质量块的相对面之间通过敏感...
谢建兵郝永存鲁文飞邓宇廷常洪龙苑伟政
一种基于模态局部化效应的MEMS电流传感器
本发明公开了一种基于模态局部化效应的MEMS电流传感器，属于传感器领域。该传感器基于二自由度弱耦合谐振系统的模态局部化效应和采样电阻法，通过检测弱耦合谐振系统的幅值比来敏感外界电流信号。其主要结构包括：弱耦合谐振系统、采...
常洪龙李涵郝永存
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微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明公开了一种微型半球谐振陀螺及其制备方法，属于微/纳加工制造领域。制备时，首先ICP刻蚀高阻硅片得到硅体1；沉积多晶硅并刻蚀得到初期电极3；正面沉积二氧化硅，图形化形成二氧化硅掩膜4；刻蚀得到半球谐振子空腔5和电极6...
谢建兵郝永存常洪龙申强苑伟政
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一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法
本发明公开了一种无火药热膨胀式微推进器及其制备方法，属于微流体推进技术和微机电系统(MEMS)领域，用于微小卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器使用到了绝缘体上硅(SOI，Silicon‑On‑Insulato...
袁建平谢建兵周金秋郝永存
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基于弱耦合微机械谐振器的微弱静电场测量装置及方法
本发明涉及一种基于弱耦合微机械谐振器的微弱静电场测量装置及方法，属于微传感器技术(MEMS)领域。该电场强度测量芯片包括了通过机械耦合梁串联在一起的多个谐振器，电压输入电极、检测电极和驱动电极，通过桥型梁对多个谐振器进行...
常洪龙严子木梁家驹康昊郝永存
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