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韩镇辉
作品数:
4
被引量:6
H指数:2
供职机构:
复旦大学化学系激光化学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
秦启宗
复旦大学化学系激光化学研究所
党海军
复旦大学化学系激光化学研究所
陆建江
复旦大学化学系激光化学研究所
刘兆祥
复旦大学化学系激光化学研究所
周鸣飞
复旦大学化学系激光化学研究所
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物理化学学报
年份
1篇
1998
2篇
1997
1篇
1996
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紫外脉冲激光烧蚀沉积Ta_2O_5薄膜过程的研究
1997年
对355nm激光烧蚀沉积Ta2O5薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ta2O5产生的正离子有Ta+、O+、TaO+和TaO+2,中性粒子有O、Ta、TaO和TaIO2,并测定了它们的飞行时间(TOF)谱。在不同压强的O2气氛下,由测得的时间分辨发光光谱表明,烧蚀产物在向基片飞行过程在发生了氧化反应。对沉积薄膜的组成分析表明,钽及其氧化物在基片上存在进一步氧化过程。
傅正文
周鸣飞
韩镇辉
秦启宗
关键词:
脉冲激光沉积
PLD
激光烧蚀La-Ca-Mn-O反应产物的角分辨和时间分辨质谱研究
被引量:3
1998年
研究了 5 32nm脉冲激光烧蚀La2 O3 CaO MnO2 混合氧化物的反应 .在较高的激光能量密度下 ,烧蚀反应生成了高平动能的La ,Ca和Mn的离子、原子以及多种不同价态的金属氧化物 .由时间分辨质谱测得的飞行时间谱可用带质心速度的Maxwell Boltzmann分布拟合 ,并由此得出Mn+离子的最可几平动能为 6 34eV ,Mn原子的最可几平动能为 0 .43eV .对烧蚀产物的角分布测定表明 ,Mn+离子的角分布可用cosnθ描述 ,而Mn原子的角分布遵循acosθ + ( 1 -a)cosnθ公式 .同时 ,对La Ca Mn O的激光烧蚀反应机理进行了讨论 .
党海军
韩镇辉
秦启宗
关键词:
脉冲激光烧蚀
飞行时间质谱
角分辨飞行时间法研究紫外激光烧蚀Ta_2O_5的反应
被引量:4
1997年
利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta,Tao和TaO2中性碎片外,在较高激光能量密度时还有O+,Ta+,TaO+,TaO离子碎片。它们的飞行时间(TOF)谱可以用多组分带质心速度的Maxwell-Bolztmaun分布函数较好地拟合,原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关.烧蚀产物中原生离子和中性粒子的角分布可以分别用αcosnθ(n≈26)和αcosθ+bcosnθ(n≈27)函数拟合。此外,对紫外脉冲激光烧触Ta2O5的机理进行了讨论.
韩镇辉
陆建江
党海军
戴自国
秦启宗
关键词:
激光烧蚀
角分布
氧化钽
射流冷却下过氧化二叔丁基瞬时热解反应的研究
1996年
采用射流冷却和高温瞬时热解技术研究了过氧化二叔丁基(DTBP)热解产物的质量分布和飞行时间谱。DTBP解离率与热解温度的关系表明,1300K时DTBP全部解离。以Ar为载气时,DTBP热解产物CH_3COCH_3的飞行时间谱上出现双峰,而以He或N_2为载气时只出现单峰,表明在射流冷却下可能有部分CH_3COCH_3分子与Ar生成了范德华分子CH_3COCH_3·Arn·此外,还讨论了射流冷却下DTBP瞬时热解的机理。
刘兆祥
陆建江
韩镇辉
戴自国
秦启宗
关键词:
射流
自由基
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