黄建兴
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：华南师范大学更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 高抗蚀性的聚酯型光刻胶被引量：2
- 1989年
- 聚酯型光刻胶是国内常用的光刻胶,其特点是分辨率高,可以刻蚀1～2μm的细线,因此在集成电路器件工业中常用于刻蚀细线。国内目前生产的聚酯型光刻胶是聚肉桂叉丙二酸乙二酯(乙胶),虽可刻蚀细线但抗蚀性较差,如提高其分子量以满足抗蚀性,则又仅可用于刻蚀4μm左右的线条。
- 吕广镛杨年光黄建兴
- 关键词：光刻胶聚酯型抗蚀性
- 一种新型高聚物材料湿敏电容性能的研究
- 1992年
- 本文叙述用聚内桂叉丙乙酸乙二醇—1.4丁二醇酯(简称JZ—YD)制造湿敏电容器的工艺条件和响应性能,并对实验结果进行了讨论.
- 李光云陈佩嫻任进勇林大流黄建兴杨年光廖秉良
- 关键词：湿敏电容器高聚物响应性能
- 全文增补中
- 铜膜电阻温度传感器研制中的几个关键技术分析
- 1993年
- 本文分析讨论研制钢膜电阻温度传感器的几个关键技术和工艺,并说明光刻版的设计要与实验室的工艺条件相适应;蒸发源的纯度、镀膜室的真空度和基片的温度对镀膜的质量有重要影响;镀膜厚度对器件互换性有重大影响,光刻时要防止到蚀过量和刻蚀不足等.文中还公开了作者在这些方面的做法和体会.
- 李光云陈佩娴任进勇黄建兴杨年光林大流
- 关键词：铜温度传感器光刻版镀膜刻蚀
- 高聚物湿敏电容性能的研究
- 李光云黄建兴
- 关键词：高聚物性能分析电容器
- 一种高聚物新材料湿敏电容元件的研究被引量：1
- 1993年
- 本文叙述用聚肉挂叉丙二酸乙二醇—1.4丁二醇酯(简称JZ—YD)制造湿敏电容元件的工艺条件和响应性能,并对实验结果进行了讨论。
- 李光云黄建兴陈佩娴
- 关键词：高聚物
