刘力涛
- 作品数：11 被引量：12H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究
- 本文利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积...
- 郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
- 关键词：微机电系统纳机电系统场发射电泳沉积
- 文献传递
- 带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计被引量：3
- 2011年
- 设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部玻璃基片上有金属光栅和电极,通过在质量块和底部玻璃基片上的电极之间施加电压可以调节质量块与玻璃基片间的间隙.入射激光照射到敏感芯片上的光栅上,产生衍射光束,其光强随质量块与下玻璃的间距而变化.反馈控制电路通过测量衍射光强的变化来改变质量块与底电极之间的电压,使得质量块与底部玻璃基片的距离保持为入射光波长1/8的奇数倍,从而提高输出线性度,改善灵敏度,增大量程.
- 伍康叶雄英陈烽刘力涛周兆英
- 关键词：微加速度计力反馈三明治
- 吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法
- 一种基于碳纳米管湿度传感器及制作方法，其包括：一基底；通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层；通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或多晶硅构成的电极对；电极对为平行对电极或梳...
- 叶雄英刘力涛伍康杜敏周兆英
- 文献传递
- 形状记忆合金驱动的常闭型主动阀(英文)被引量：2
- 2011年
- 本文研究了一种基于形状记忆合金(SMA)驱动的常闭型微阀.该微阀结构由弹性沟道层和形状记忆合金桥两部分组成,利用形状记忆合金微丝在相变过程中产生的拉力,打开微阀结构.通过对微阀的测试得出,其打开压力为4 000 Pa左右,开启时间和关闭时间分别为0.6 s和1 s.此外,当电流在0.14～0.30 A内,可得到6.7—75.2μL/min的近似线性流量调节范围.该形状记忆合金常闭微阀的制造采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的软光刻工艺实现,之后采用印刷电路板(PCB)上的形状记忆合金丝焊接组装搭建驱动结构.
- 杜敏叶雄英刘力涛施鏐佳
- 关键词：形状记忆合金微流体
- 集成光栅微悬臂梁生化传感器及其芯片制作方法
- 本发明涉及集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括玻璃片表面上设置的金属光栅和电极；电极和光栅上覆盖的绝缘层，并在玻璃片上设置有微悬臂梁结构以及微悬臂梁上表面的特异性吸附层，微悬臂梁和光栅之间有一定的间隙，光电检测电路与电极相连...
- 叶雄英陈烽伍康刘力涛周兆英
- 碳纳米管薄膜气敏元件的制备及敏感性研究
- 工业生产、家庭安全、环境监测和医疗等领域对气体传感器的精度、性能、稳定性方面的要求越来越高,因此对气体传感器的研究和开发也越来越重要。碳纳米管(CNT)作为一种理想的一维纳米材料,具有独特的物理、化学性质,将其应用于气体...
- 刘力涛
- 关键词：碳纳米管气敏功能化修饰
- MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量：2
- 2006年
- 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V^4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
- 郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
- 关键词：场发射
- 集成光栅微悬臂梁生化传感器及其芯片制作方法
- 本发明涉及集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括玻璃片表面上设置的金属光栅和电极；电极和光栅上覆盖的绝缘层，并在玻璃片上设置有微悬臂梁结构以及微悬臂梁上表面的特异性吸附层，微悬臂梁和光栅之间有一定的间隙，光电检测电路与电极相连...
- 叶雄英陈烽伍康刘力涛周兆英
- 文献传递
- 集成光栅干涉微位移测量方法被引量：6
- 2009年
- 介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2nm.
- 伍康叶雄英刘力涛陈烽周兆英
- 关键词：干涉法衍射光栅微机电系统
- 不同质量块布局双端固支梁的等效弹簧系数的热效应(英文)
- 2009年
- 通过理论研究和有限元仿真分析了热效应对两种不同质量块布局的双端固支梁的等效弹簧系数的影响,两种质量块分别布局为质量块与梁对称布置和质量块位于梁平面一侧布置。推导了双端固支梁等效弹簧系数随温度的变化公式,仿真分析了双端固支梁-质量块系统的一阶固有频率以及质量块在静载荷作用下的位移。通过固有频率及载荷-位移两种方式,分别得到了两种布局下的质量系统在不同温度下的等效弹簧系数。对于质量块对称布置和单侧布置,根据一阶固有频率得到的等效弹簧系数随温度的变化与理论分析都吻合;而利用载荷-位移得到的等效弹簧系数随温度的变化,需要对位移进行修正。计算结果表明,对于质量块位于梁一侧的系统,温度变化对其等效弹簧系数有重要影响,质量块的不对称会在温度变化时产生对梁的弯矩作用,从而使质量块产生位移,造成微机电传感器和执行器输出信号的改变。
- 伍康叶雄英刘力涛杜敏周兆英
- 关键词：热效应
