唐桢安
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究
- 2007年
- 微机电系统(MEMS)的研究引起了人们的极大关注,摩擦行为是影响MEMS性能的关键因素之一。本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性。详细介绍了采用原子力显微镜(AFM)进行纳米摩擦实验的原理,并利用其研究制得DLC膜的纳米摩擦特性。研究结果表明,制得DLC膜的摩擦系数较小,具有耐磨损性能,而且反应气体流量对薄膜的纳米摩擦特性有较大影响。PSII技术制备的DLC膜具有较好的纳米摩擦特性,并有望使可动MEMS的摩擦问题得到真正意义上的突破。
- 李新唐桢安徐军鲍海飞
- 关键词：类金刚石膜原子力显微镜
- 扩散硅力敏器件CAD技术的研究——结构应力分析
- 1995年
- 本文介绍在IBM系列及其兼容系列微型机上,实现硅压力传感器中硅杯结构的应力分析方法和软件.该软件对微机软、硬件资源的要求很低,能对包括工艺误差在内的各种复杂的硅杯结构绘出准确的应力分析图.
- 唐桢安吴坚民吴静
- 关键词：硅压力传感器CAD微机传感器
- PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究
- 本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性.详细介绍了采用原子力显微镜(AFM)进行纳米摩擦实验的原理,并利用其研究制得DLC膜的纳米摩擦特性.研究结果表明,...
- 李新唐桢安徐军鲍海飞
- 关键词：类金刚石膜原子力显微镜
- 文献传递
