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夏金松

作品数：80 被引量：49H指数：5
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 49篇专利
  • 16篇期刊文章
  • 13篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 45篇电子电信
  • 5篇理学
  • 3篇机械工程

主题

  • 21篇波导
  • 13篇激光
  • 12篇光学
  • 11篇铌酸锂
  • 11篇刻蚀
  • 11篇SOI
  • 10篇激光器
  • 10篇光刻
  • 8篇纳米
  • 8篇光开关
  • 8篇光栅
  • 8篇硅基
  • 8篇干法刻蚀
  • 7篇光波
  • 7篇光子
  • 6篇衍射
  • 6篇耦合器
  • 6篇外腔
  • 6篇外腔激光器
  • 6篇量子点

机构

  • 55篇华中科技大学
  • 20篇中国科学院
  • 5篇武汉光电国家...
  • 2篇复旦大学
  • 1篇山东大学

作者

  • 80篇夏金松
  • 35篇曾成
  • 19篇余金中
  • 13篇袁帅
  • 10篇李晓平
  • 8篇史铁林
  • 7篇樊中朝
  • 7篇严清峰
  • 7篇陈少武
  • 7篇张永
  • 6篇汤自荣
  • 5篇卢宏
  • 5篇王章涛
  • 4篇赵英俊
  • 4篇张虹
  • 4篇江浩
  • 3篇陈媛媛
  • 3篇李攀
  • 3篇魏红振
  • 3篇刘敬伟

传媒

  • 6篇Journa...
  • 4篇第十二届全国...
  • 2篇物理学报
  • 2篇飞通光电子技...
  • 2篇第十一届全国...
  • 1篇光纤与电缆及...
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇光通信研究
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇光子技术
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第二十一届全...

年份

  • 2篇2024
  • 5篇2023
  • 4篇2022
  • 9篇2021
  • 7篇2020
  • 6篇2019
  • 6篇2018
  • 9篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2006
  • 2篇2005
  • 6篇2004
  • 5篇2003
  • 3篇2002
  • 3篇2001
共 80 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微纳尺度图纹压印模具的制作方法
微纳尺度图纹压印模具的制作方法，属于压印模具的精细加工方法，解决激光干涉光刻制作模具条纹尺度不够精细，而电子束光刻制作高精细图形速度过慢、不适于大面积制作的问题。本发明的一种方法，顺序包括电子束光刻、一次干法刻蚀、激光干...
李晓平夏金松汤自荣黄鹰卢宏史铁林刘小波谭先华
文献传递
一种基于薄膜铌酸锂的高速线性调频外腔激光器
本发明涉及一种基于薄膜铌酸锂的高速线性调频外腔激光器，属于外腔激光器领域，本发明提出了一种基于薄膜铌酸锂的高速线性调频外腔激光器，该外腔激光器包括半导体光放大器、窄带反射滤波芯片和输出光纤。半导体光放大器用于光放大；窄带...
夏金松陶诗琦曾成袁帅
快速响应SOI马赫曾德热光调制器被引量：10
2002年
给出了 Y分支 MZI热光调制器的模型 ,实验研制了基于 SOI( silicon- on- insulator)的 MZI热光调制器 ,调制器的消光比为 - 16.5 d B,开关的上升时间为 10 μs,下降时间为 2 0 μs,相应的功耗为 0 .3
魏红振余金中夏金松严清峰刘忠立房昌水
关键词：集成光学调制器SOI热光开关
一种基于周期性极化铌酸锂薄膜的谐振型光学参量放大器
本发明属于集成光学、光通信以及微波光子学领域，公开了一种基于周期性极化铌酸锂薄膜的谐振型光学参量放大器，包括波导芯层、波导下包层及基底层，波导芯层包括谐振型光学参量放大组件；该谐振型光学参量放大组件包括周期性极化铌酸锂薄...
曾成魏俊杰孙昊骋夏金松
用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器及其制造方法
本发明公开了一种用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器的制造方法，属于动态眼压测量领域，包括：在硅衬底上旋涂光刻胶，显影、定影得到由剩余光刻胶形成的微纳米尺寸图纹；以剩余光刻胶做掩膜，利用干法刻蚀硅衬底，得到纳米尺寸图纹；...
李晓平夏金松史铁林张虹李贵刚汤自荣赵英俊
文献传递
一种基于铌酸锂薄膜的大模斑水平端面耦合器
本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜的大模斑水平端面耦合器，属于集成光器件技术领域。本发明所述耦合器包括双层倒锥和包层波导；所述双层倒锥包括上层倒锥和下层倒锥；所述下层倒锥材料为二氧化硅和铌酸锂，所述上层倒锥材料为铌酸锂；所述...
夏金松胡畅然曾成瞿智成
SOI上用于电子束套刻的凹陷型对准标记及制作方法
本发明公开了一种SOI衬底上电子束套刻工艺所需的凹陷型对准标记制作方法，具体为：清洗SOI衬底；在SOI衬底上涂敷光学抗蚀剂，采用光刻工艺将对准标记的版图转移到光学抗蚀剂上；在SOI衬底和光学抗蚀剂表面镀金属薄膜；剥离去...
曾成夏金松李丹萍
文献传递
一种光致变多色的零级衍射光栅及其制造方法
本发明公开了一种光致变多色的零级衍射光栅及其制造方法，属于光致变多色衍射光栅领域。该制造方法包括：按照给定的能够实现光致变多色的设计目标，先获得多组满足设计目标的光栅的光学结构和配置参数Q的解；对这些解分别进行蒙特卡洛模...
李晓平夏金松史铁林江浩
文献传递
一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法
本发明公开了一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法，属于半导体学中的微观结构技术领域。包括：将2.5D微纳结构的高度分成2<Sup>N</Sup>个等级，建立对应的N张二元曝光版图，其中N＞I；再获取所述N张二元曝光版图...
李攀卢宏夏金松李宇航曾成郑盼盼
从OFC2001会议看DW DM全光网中的无源器件
2002年
概述了在 2 0 0 1年 OFC会议上出现的新型光无源器件 ,介绍了光无源器件的最新进展 ,着重分析了几种用于
夏金松余金中严清峰
关键词：全光网无源器件密集波分复用阵列波导光栅
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