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姚婕
作品数:
1
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供职机构:
西安理工大学
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冶金工程
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合作作者
雷小博
西安理工大学
王建春
西安理工大学
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2009
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旋转法下降炉的智能控制
2009年
随着我国人工晶体材料工业的飞速发展,急需性能优良、稳定性好、自动化程度高的晶体生长设备。提出了炉室上升坩埚旋转技术,不仅利于提高生长晶体的品质,而且生长设备简单,易于实现自动化控制。采用性能优良的ADμC812微控制芯片进行控制,是晶体生长设备控制方法的有益探索。该设备自动化程度较高,速度运行可靠,维护简单方便,具有推广价值。
姚婕
雷小博
王建春
关键词:
下降法
ADΜC812
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