崔万国
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：厦门大学更多>>
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- 一种含氢类金刚石膜的制备方法
- 一种含氢类金刚石膜的制备方法。涉及类金刚石膜，提供一种含氢类金刚石膜的制备方法，包括以下步骤：将衬底正面正对着源电极放入等离子体增强型化学气相沉积生长腔体内，用等离子体溅射清洗等离子体增强型化学气相沉积生长腔体以及衬底表...
- 王辅明张玲崔万国黎琼钰
- 拉曼光谱表征无氢类金刚石薄膜的新方法被引量：5
- 2010年
- DLC薄膜的拉曼光谱表征主要依靠D峰和G峰的强度比值(ID/IG)来定性判断sp3含量,但当sp3所占百分比高于20%时,ID/IG值对sp3含量的变化不敏感,判断的误差很大。采用直流磁控溅射和多弧离子镀制备了一系列无氢DLC薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱和维氏硬度。通过数据分析,发现薄膜硬度和拉曼光谱中的G峰半峰宽具有很好的相关性,因而提出通过G峰半峰宽来定量判断DLC薄膜中sp3含量的拉曼光谱表征新方法。
- 张玲赖起邦崔万国王辅明
- 关键词：类金刚石薄膜拉曼光谱
- 射频功率对PECVD制备类金刚石薄膜光学性能的影响被引量：2
- 2010年
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在石英片上生长类金刚石薄膜。通过紫外可见分光光度计、椭偏仪测试手段,研究不同射频功率条件下类金刚石薄膜的光学性能的变化。结果表明,射频功率对类金刚石薄膜的生长具有重要影响,在较低功率下生长的类金刚石薄膜,具有较高的光学透过率和较大的光学带隙。
- 崔万国张玲
- 关键词：类金刚石等离子体增强化学气相沉积光学性能
- 一种含氢类金刚石膜的制备方法
- 一种含氢类金刚石膜的制备方法。涉及类金刚石膜，提供一种含氢类金刚石膜的制备方法，包括以下步骤：将衬底正面正对着源电极放入等离子体增强型化学气相沉积生长腔体内，用等离子体溅射清洗等离子体增强型化学气相沉积生长腔体以及衬底表...
- 王辅明张玲崔万国黎琼钰
- 文献传递
