张永胜
- 作品数：6 被引量：26H指数：4
- 供职机构：合肥工业大学安徽合肥更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 深高宽比微结构的干法刻蚀被引量：8
- 2004年
- 介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。
- 王旭迪张永胜胡焕林汪力
- 关键词：微结构干法刻蚀
- 大平面玻璃基片磁控溅射真空镀膜简介(一)被引量：6
- 2006年
- 近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介绍。
- 龚建华柳俊文张永胜
- 电力电容器真空浸渍系统抽气时间的研究被引量：4
- 2008年
- 从抽气原理出发,根据简化模型,从理论上揭示了电容器的排气规律。如果对现有设备进行适当调整,有望大大缩短抽气时间。
- 段献学张永胜龚建华
- 关键词：电力电容器真空浸渍
- 大平面玻璃基片磁控溅射真空镀膜简介(二)被引量：5
- 2006年
- 近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介绍。
- 龚建华张永胜柳俊文
- 全膜高压电容器真空浸渍工艺及设备研究
- 高压全膜电容器生产过程中有三大关键技术:膜及铝铂的卷帙、真空浸渍处理和电容器油的真空处理.本文就结合几家高压全膜电容器生产厂家的一些具体工艺,对真空浸渍处理工艺做一定的深入研究,并对真空工艺做一些改造.进而知道对于高压全...
- 张永胜
- 关键词：高压全膜电容器分子泵增压泵
- 文献传递
- 镀膜玻璃膜层的针孔和结合力被引量：3
- 2008年
- 真空镀膜是材料表面改性的一个重要方面,目前已形成了一个巨大的产业,因此其质量的监控显得尤为重要。真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等方面。而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅射方法大面积沉积的膜层,针孔和结合力是一个令人关注的问题。文章针对针孔出现的机理,较详细地讨论了消除或减少针孔的有效方法;分析了影响膜层结合力的各种因素,指出了入射粒子能量和基体作用力的性质是影响膜层结合力的重要因素,同时,膜层与界面的形态也强烈地影响到结合力的强弱。据此,从工艺和膜层结构方面提出了增强膜层结合力的方法和措施。
- 龚建华杨有财张永胜
- 关键词：镀膜针孔结合力
