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张煜
作品数:
1
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供职机构:
中北大学电子与计算机科学技术学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王欣
北京大学信息科学技术学院微米纳...
张锦文
北京大学信息科学技术学院微米纳...
周吉龙
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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圆片级封装垂直通孔引线寄生电容研究
2012年
垂直通孔引线是圆片级封装方法的关键技术之一。针对玻璃衬底垂直通孔引线技术,本文就通孔引线寄生电容开展了研究。首先,利用Ansoft Maxwell 3D对其寄生电容进行了建模和模拟仿真,研究了不同通孔底面直径(d)、玻璃衬底厚度(t)和通孔中心间距(g)的影响。其次,基于微加工工艺,制备了圆片级玻璃衬底的垂直通孔引线样品。最后,对实验加工样品电容进行测试,并与模拟结果进行了比较与分析。
张煜
张锦文
王欣
周吉龙
关键词:
寄生电容
玻璃衬底
圆片级封装
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