李增辉
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
- 供职机构：青岛理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术化学工程更多>>
- 狭缝涂布理论建模与数值模拟被引量：6
- 2014年
- 狭缝涂布是一种精密涂布技术,目前已经被广泛地应用在柔性电子、功能薄膜、平板显示器、微纳制造、印刷等众多领域.通过对狭缝涂布系统稳定流动后的涂布层进行纳维-斯托克斯方程理论分析,建立了上游和下游的流速、流量关系的理论模型,揭示了涂布层的流动机理,并通过对涂布过程的数值模拟,得到涂布开始后不同时刻流体的流动界面,阐述了基底运动速度对涂布层质量的影响规律.该研究为进一步提高狭缝涂布质量和效率,优化狭缝涂布的生产工艺奠定了理论基础.
- 徐方超李增辉兰红波
- 关键词：涂布过程FLUENT
- 大面积复合纳米压印光刻机的研究与开发
- LED图形化、晶圆级光学器件、高效太阳能电池板、高性能玻璃、大尺寸高清平板显示等行业对于大面积纳米图形化具有巨大的市场需求，但现有各种微纳米制造技术难以满足其工业级生产的需求，尽管纳米压印被看作最具潜能实现大面积纳米图形...
- 李增辉
- 关键词：控制系统机械系统
- 文献传递
- 大面纳米积压印揭开式脱模建模与模拟被引量：7
- 2014年
- 大面积纳米压印是一种高效、低成本和批量化制造大面积微纳米结构的方法,已经被看作最具有工业化应用前景的微纳米制造方法之一.脱模是当前大面积纳米压印所面临的最大挑战性问题,是制约大尺寸晶圆级纳米压印进入工业化应用最大的瓶颈."揭开"式脱模已经被认为是实现大面积纳米压印最为有效的一种脱模方法,本文开展了大面积纳米压印揭开式脱模理论建模和数值模拟的研究.基于应变能法,并结合脱模过程中能量的守恒,建立了"揭开"式脱模预估脱模力理论模型.以光栅图形垂直式脱模为例,建立了目前工业界广泛采用的气体辅助揭开式脱模在脱模过程中所需气压脱模力理论模型.利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了模具材料特性、特征图形几何参数对于"揭开"式脱模影响规律.该研究为大面积纳米压印工艺奠定重要理论基础,并为晶圆级纳米压印工艺优化和压印装备开发与性能的改进提供理论基础和方向性指导.
- 李增辉兰红波刘红忠丁玉成
- 关键词：纳米压印
- 滚型纳米压印模具变形机理的研究被引量：2
- 2015年
- 滚型纳米压印是一种高效、低成本批量化制造大面积微纳米结构的方法,已经被看成是最具有工业化应用前景的微纳米制造方法之一,同时也被认为是实现纳米压印技术从实验室到工业化应用的一个重要突破口。开展滚型纳米压印过程中模具变形机理和规律的研究,提出滚型纳米压印两种理论模型,揭示柔性接触滚轮模具变形的机理、规律和主要影响因素,阐述硬质接触和柔性接触两种压印方式显著区别和特点。该研究为探索减小弹性滚轮模具变形策略和方法,滚型纳米压印工艺要素的优化,以及提高滚型纳米压印复型精度和压印效率奠定了理论基础。
- 兰红波徐方超李增辉梁森丁玉成
- 关键词：纳米压印
