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李忠亮
作品数:
8
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北京大学
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合作作者
张海霞
北京大学
孙旭明
北京大学
郑阳
北京大学
韩梦迪
北京大学
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衬底
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机构
8篇
北京大学
作者
8篇
李忠亮
8篇
张海霞
6篇
郑阳
6篇
孙旭明
2篇
韩梦迪
年份
3篇
2016
1篇
2015
4篇
2013
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一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法
本发明涉及微纳加工领域,特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感,和折叠之前相比,性能有明显提升;和传统工艺制备的三维立体电感相比,具有工艺步骤简单,...
张海霞
郑阳
孙旭明
李忠亮
文献传递
一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法
本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法,该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例,从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工...
张海霞
李忠亮
孙旭明
郑阳
文献传递
一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法
本发明涉及微纳加工领域,特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感,和折叠之前相比,性能有明显提升;和传统工艺制备的三维立体电感相比,具有工艺步骤简单,...
张海霞
郑阳
孙旭明
李忠亮
文献传递
一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法
本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法,该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例,从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工...
张海霞
李忠亮
孙旭明
郑阳
文献传递
新型串联式线圈电磁能量采集器
本发明涉及微机械系统制造领域,具体涉及微纳米加工技术领域,尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法,包括任选的处理基底;电镀Cu线圈;电镀Cu支撑柱;电镀Cu振动板与折形梁;电镀永磁体阵列;去胶,去种子层切割得...
张海霞
李忠亮
韩梦迪
文献传递
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤:(A)衬底上生长柔性薄膜;任选的(A1)在薄膜上溅射种子层,电镀磁性材料,生长柔性薄膜;任选的(A2)溅射种子层;(B)电镀线圈;(C)电镀磁芯;任选的步骤(C1...
张海霞
孙旭明
郑阳
李忠亮
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采用微纳加工技术来制备电磁式能量采集器的方法
本发明涉及微机械系统制造领域,具体涉及微纳米加工技术领域,尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法,包括任选的处理基底;电镀Cu线圈;电镀Cu支撑柱;电镀Cu振动板与折形梁;电镀永磁体阵列;去胶,去种子层切割得...
张海霞
李忠亮
韩梦迪
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一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤:(A)衬底上生长柔性薄膜;任选的(A1)在薄膜上溅射种子层,电镀磁性材料,生长柔性薄膜;任选的(A2)溅射种子层;(B)电镀线圈;(C)电镀磁芯;任选的步骤(C1...
张海霞
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