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厚度效应对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜微结构、铁电、介电性能的影响被引量：2: 2002年; 用改进的溶胶 -凝胶法在Pt(111) /Ti/SiO2 /Si(10 0 )衬底上制备了不同厚度的高度 (111)取向的Pb(Zr0 .53 Ti0 .4 7)O3 薄膜。运用X射线衍射 (XRD)和原子力显微镜 (AFM )分析了薄膜的微结构 ,原子力显微镜表明厚度为 0 .3μm和 0 .5 6 μm的PZT薄膜的晶粒尺寸和表面粗糙度分别为 0 .2～ 0 .3μm、2～3μm和 0 .92nm、34nm。 0 .3μm和 0 .5 6 μmPZT薄膜的剩余极化 (Pr)和矫顽场 (Ec)分别为 32 .2 μC/cm2 、79.9kV/cm ,2 7.7μC/cm2 、5 4.4kV/cm ;在频率 10 0KHz时 ,薄膜的介电常数和介电损耗分别为 5 39、0 0 6 6 ,82 1、0 .0 2 9。; 梁龙吴斌杨德军; 关键词：微结构 PZT薄膜铁电性质介电性质

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梁龙