段文睿
- 作品数：15 被引量：36H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
- 基于陀螺仪辅助的三轴磁强计全误差标定方法
- 本发明提出一种基于陀螺仪辅助的三轴磁强计全误差标定方法，适用于捷联惯性导航系统、手机等便携式导航设备，该方法采用三轴陀螺仪与三轴磁强计固连的传感器组合模块，利用长方体框架与传感器组合模块，对磁强计的软磁误差、硬磁误差、零...
- 尤政杨登李滨段文睿
- CAD领域中知识库系统的研究及实现被引量：2
- 2008年
- 为了提高产品设计效率,对机械CAD领域的知识进行了分类,阐述了基于集合变量和规则的知识统一表示方法,提出了一种改进的有向图推理算法,并设计了完整的知识库架构,最终实现了基于知识驱动的产品自动建模。应用结果证明了该方案的可行性和知识驱动建模的高效性。
- 柳锤段文睿席平
- 关键词：知识工程CAD知识库
- 等离子体约束装置及具有其的等离子体处理装置
- 本发明提出一种等离子体约束装置，包括：约束环，约束环包括多个同心圆环，多个同心圆环之间的缝隙形成约束通道，约束环的高度大于等离子体的平均自由程，约束通道用于抑制等离子体通过；第一约束片，第一约束片设置在约束环的顶部，以封...
- 田凌段文睿韩文彬冯涓黄利平
- 文献传递
- 用于等离子体刻蚀的聚焦环及具有其的等离子体刻蚀装置
- 本发明提供一种用于等离子体刻蚀的聚焦环，包括绝缘体材料的下环、导体材料的中环以及上环。本发明亦提供一种包括该聚焦环的等离子体刻蚀装置，其中，对聚焦环的加载预设电压，该预设电压为针对不同的等离子体放电模型，获取刻蚀腔室中一...
- 冯涓韩文彬段文睿田凌
- 文献传递
- 基于特征知识的飞机翼类典型结构件库研究被引量：1
- 2009年
- 为了实现飞机翼类典型结构件知识资源的重用,建立基于特征知识的飞机翼类典型结构件库,分析了飞机翼类典型结构件的特征知识,采用吸纳法实现知识驱动飞机翼类典型结构件几何设计,研发独立于CAD平台的结构件知识库。实现了翼类典型结构件设计资源的重用,降低变形设计难度的同时提高了设计效率,并为其它零件和标准件库的建立提供了一个新的思维方法。
- 张青席平余伟巍段文睿
- 关键词：机翼知识驱动知识工程
- 刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究被引量：1
- 2015年
- 450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。
- 段文睿田凌韩文彬
- 关键词：元建模
- 基于陀螺仪辅助的三轴磁强计全误差标定方法
- 本发明提出一种基于陀螺仪辅助的三轴磁强计全误差标定方法，适用于捷联惯性导航系统、手机等便携式导航设备，该方法采用三轴陀螺仪与三轴磁强计固连的传感器组合模块，利用长方体框架与传感器组合模块，对磁强计的软磁误差、硬磁误差、零...
- 尤政杨登李滨段文睿
- 文献传递
- 用于等离子体刻蚀的聚焦环及具有其的等离子体刻蚀装置
- 本发明提供一种用于等离子体刻蚀的聚焦环，包括绝缘体材料的下环、导体材料的中环以及上环。本发明亦提供一种包括该聚焦环的等离子体刻蚀装置，其中，对聚焦环的加载预设电压，该预设电压为针对不同的等离子体放电模型，获取刻蚀腔室中一...
- 韩文彬冯涓段文睿田凌
- 基于二次优化策略的约束环内稀薄气体粘度修正被引量：1
- 2015年
- 针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题，采取二次优化策略，确定了CFD-ACE＋中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0．12和1．40。对约束环内气体流动进行模拟仿真，结果表明：利用本文中的粘度修正公式，可以使约束环内稀薄气体的模拟仿真结果与实验测量值相一致，该公式在较宽的入口流量范围（200—2000mL／min之间）内应用均可控制仿真结果的相对偏差在±3％之内，其精度满足实际工程需要；并且，获得粘度修正公式参数的方法同样适用其它微通道内稀薄气体的研究，对相同工况下类似刻蚀腔室内气流仿真、新机型设计等亦有很大的指导意义。
- 韩文彬冯涓武园浩段文睿
- 关键词：粘度修正稀薄气体
- 基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究被引量：2
- 2015年
- 从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。
- 段文睿田凌武园浩王占松
- 关键词：多目标优化多目标决策
