王银珍 作品数:24 被引量:69 H指数:4 供职机构: 中国科学院上海光学精密机械研究所 更多>> 发文基金: 中国科学院“百人计划” 国家高技术研究发展计划 美国国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 电子电信 金属学及工艺 化学工程 更多>>
γ-LiAlO_2晶体的生长及掺镓研究 被引量:3 2005年 由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γLiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料。本文首先使用提拉法生长出了尺寸达45×50mm3的γLiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1 xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征。结果表明LiAl1 xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γLiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1。 彭观良 庄漪 邹军 王银珍 刘世良 周国清 周圣明 徐军 干福熹关键词:晶体生长 提拉法 表面处理对蓝宝石衬底的影响 被引量:14 2005年 蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。 王银珍 彭观良 刘世良 李抒智 邹军 周圣明 徐军关键词:蓝宝石 衬底 表面处理 脉冲激光沉积制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法 一种脉冲激光沉积制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法,首先是γ-LiAlO<Sub>2</Sub>的制备,然后利用脉冲激光淀积将γ-LiAlO<Sub>2</Sub>靶材的表层分子熔蒸出来,... 王银珍 徐军 周圣明 杨卫桥 李抒智 彭观良 刘世良文献传递 具有γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的制备方法 一种具有γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的制备方法,其步骤:先合成制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>靶材,然后利用射频磁控溅射方法在α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub... 夏长泰 王银珍 周圣明 张连翰 徐军文献传递 气相传输平衡法在(11-20)面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜 2006年 为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底,通过48 h的气相传输平衡,分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示,γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度,在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向;在γ铝酸锂(001)面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成;γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下,气相传输平衡法制备的γ铝酸锂/蓝宝石可能成为一种很有前景且适合(1-100)面氮化镓生长的复合衬底。 刘世良 周圣明 李抒智 王银珍 徐军关键词:薄膜光学 复合衬底 在γ-LiAlO<Sub>2</Sub>衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法 一种在γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法,包括如下具体步骤:<1>将清洗的双面抛光或单面抛光的γ-LiAlO<Sub>2</Sub>衬底及纯度优于99.99%的ZnO单晶... 邹军 周圣明 徐军 夏长泰 苏凤莲 李抒智 彭观良 王银珍 刘世良文献传递 蓝宝石基氮化物芯片的划片方法 一种蓝宝石基氮化物芯片的划片方法,包括下列步骤:根据划片的要求采用铅板制造出中间有若干狭缝的辐照挡板;将已生长GaN的蓝宝石晶体背面与辐照挡板贴紧,采用Co<Sup>60</Sup>进行Gamma射线辐照,辐照剂量约为1... 徐军 蒋成勇 周圣明 杨卫桥 周国清 王银珍 彭观良 邹军 刘士良 张俊计 邓佩珍文献传递 蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法 一种蓝宝石基氮化物芯片的减薄划片方法,包括下列步骤:成对地将蓝宝石基氮化物芯片贴成氮化物芯片夹心饼;将氮化物芯片夹心饼送入铂金坩埚并置于或悬于铂金丝上,在该坩埚内,放置带气孔的γ-LiAlO<Sub>2</Sub>和Li... 徐军 彭观良 周圣明 周国清 蒋成勇 王海丽 李抒智 赵广军 张俊计 刘军芳 邹军 王银珍 吴锋 庄漪文献传递 c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文) 2005年 采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相-γL iA lO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对-γL iA lO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响-γL iA lO2层质量的重要因素。要制备高质量的-γL iA lO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,-γL iA lO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。 彭观良 李抒智 庄漪 邹军 王银珍 刘世良 周国清 周圣明 徐军 干福熹关键词:GAN 衬底 温梯法生长大尺寸蓝宝石晶体的脱碳去色退火研究(英文) 2006年 温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)生长的Al_2O_3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即“两步法”退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高. 徐军 周国清 邓佩珍 司继良 钱小波 王银珍 周圣明 周永宗 朱人元关键词:脱碳 退火