石云波 作品数:481 被引量:700 H指数:13 供职机构: 中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 教育部“新世纪优秀人才支持计划” 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 更多>>
基于固态自旋系统的荧光高效检测装置 本发明涉及NV色心陀螺荧光收集系统,具体为基于固态自旋系统的荧光高效检测装置,包括532激光机,532激光机的光路上依次设置有偏振片、第一凸透镜、声光调制器、第二凸透镜、第四凸透镜,第四凸透镜正对着金刚石,金刚石放置在滤... 马宗敏 刘俊 唐军 石云波 张晓明 曹慧亮 张少文 高健 傅月平文献传递 高g值加速度计的设计与冲击特性分析 被引量:15 2010年 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度计;利用Hopkinson杆冲击校准装置对该加速度计的动态特性进行了测试。测试结果表明,传感器的灵敏度为1.2μV/g,线性度5%左右;结构受到2×105g冲击后完好且输出信号正常,能有效满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求,可以应用于侵彻系统。 石云波 朱政强 刘晓鹏 杜康 刘俊关键词:HOPKINSON杆 基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法 本发明涉及微机械陀螺仪,具体是一种基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法。本发明解决了微机械陀螺仪无法兼顾机械灵敏度和带宽的问题。基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)以扫频的方... 曹慧亮 刘俊 石云波 申冲 秦丽 唐军 李杰 张晓明 马宗敏 鲍爱达微加速度计可靠性强化试验测试方法 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式,方便产品研发,改善产品整体性能,步骤如下:1、微加速度计于温度应... 马喜宏 熊继军 张文栋 刘俊 秦丽 石云波 周鹏斌文献传递 批量微加速度计翻滚实验平台设计 被引量:1 2014年 针对目前微加速度计重力场翻滚实验设备一次只能对一只加速度计进行测试,基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次对多只微加速度计进行翻滚实验,并且微加速度计夹具能与翻滚驱动装置自动结合与分离的新型翻滚实验平台。通过对用该平台测试的加速度计参数和现有设备测试的加速度计参数的对比表明,该平台一次可准确的对4只加速度计进行测试。 薛彦辉 石云波 赵赟 于春华关键词:微加速度计 SOLIDWORKS 一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法 本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法,解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤:制备带有凹透镜结构的PDMS负模;制备带有半圆柱状凹... 刘俊 唐军 张斌珍 石云波 薛晨阳 李向红 孟祥娇 段俊平 刘尧文献传递 一种高量程加速度传感器的性能测试与分析 被引量:4 2016年 针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器,通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金森杆冲击校准装置,测试了传感器的灵敏度和频响特性。试验结果表明:该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为15.5 k Hz;Y轴方向的灵敏度为(0.517±0.03μV/g,幅值误差±5%时,工作频带为16.9 k Hz。该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量,可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器。 陈艳香 石云波 智丹 杨志才 邹坤 冯恒振关键词:加速度传感器 双轴 面内 一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法 本发明公开了一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法,涉及微位移检测技术领域。包括周期性的多阶梯光栅结构,每个周期的多阶梯光栅结构均包括衬底基板与四阶梯光栅结构,四阶梯光栅结构均设于衬底基板上,四阶梯光栅结构按照单周期内从右到... 石云波 赵锐 祖凯旋 沈富明 张旭 刘豪微致动开关 本发明涉及MEMS器件,具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关,包括开关主体,开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁,悬臂梁下方底座上设有底电极,... 杨卫 张文栋 李艳 王聪 闫俊杰 郭涛 石云波 李杰 秦丽 马喜宏 鲍爱达文献传递 高量程加速度计动态线性校准系统 被引量:4 2016年 设计了双弹头霍普金森杆用于精确标定高g值加速度计的动态线性参数。基于一维应力波传播理论和弹性波叠加原理,分析了双弹头霍普金森杆为不同尺寸时对获取所需激励加速度信号的影响。利用ANSYS/LS-DYNA有限元仿真软件对不同设计条件下双弹头霍普金森杆的冲击效果进行了仿真分析。通过对不同影响因素的对比,确定了结构参数,设计了直径为30mm,长度为1 200mm的双弹头霍普金森杆,即高量程加速度计动态线性校准系统。利用设计的双弹头霍普金森杆对高量程加速度计进行了动态线性校准和试验验证,结果显示加速度计动态线性误差在5%以内,证明了设计的装置可对高量程加速度计进行动态线性校准,校准结果基本满足冲击校准的要求。 石云波 杨志才 曹慧亮 智丹 陈艳香 王艳阳关键词:加速度计 ANSYS/LS-DYNA 应力波