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贾晓华
作品数:
1
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供职机构:
河北工业大学电气工程学院
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李光平
天津电子材料研究所
杨瑞霞
河北工业大学电气工程学院
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砷化镓
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作者
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杨瑞霞
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李光平
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贾晓华
传媒
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河北工业大学...
年份
1篇
1999
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非掺杂半绝缘LECGaAs中深施主缺陷对注入硅激活率的影响
1999年
通过测量GaAs金属半导体场效应晶体管(MESFET)的饱和漏-源电流分布研究了深施主缺陷EL2对半绝缘(SI)LECGaAs中注入硅(Si)激活率的影响,发现激活率随EL2浓度的增加而增加,讨论了EL2影响硅注入激活率的机理.
杨瑞霞
贾晓华
付浚
李光平
关键词:
砷化镓
离子注入
硅
场效应晶体管
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