邢华
- 作品数：24 被引量：36H指数：4
- 供职机构：吉林大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学医药卫生更多>>
- 采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO_2薄膜被引量：2
- 2003年
- 溶胶 凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术,被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中。本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下,采用溶胶 凝胶方法制备含有纳米晶硅(nc Si)的SiO2胶体溶液,通过旋涂法使溶剂迅速挥发而迅速凝胶化,经过适当温度的干燥和烧结制备了nc Si/SiO2薄膜。探讨了胶体粘度、盐酸催化剂浓度、旋涂速度和时间对成膜质量的影响。给出了nc Si/SiO2薄膜的扫描电镜图像和表征nc Si/SiO2薄膜组分的能谱图。
- 王蓟李剑邢华宁永强王立军
- 关键词：溶胶-凝胶法旋涂法二氧化硅
- 溶胶凝胶光诱导制作列阵波导光栅的方法
- 本发明属溶胶凝胶光诱导折射率变化法制作掺锡SiO<Sub>2</Sub>/Si基列阵波导光栅的方法。以单晶硅为衬底，在其上顺次生长下包层、波导芯层、上包层；在波导芯层，经调制溶胶—旋涂—烧结—掩膜—光诱导过程制作AWG图...
- 张玉书邢华吴远大李爱武
- 文献传递
- 紫外写入制作列阵波导光栅的方法
- 本发明属一种列阵波导光栅(AWG)的紫外写入的制作方法。以单晶硅为衬底(1),用火焰水解法顺次在衬底(1)上淀积SiO<Sub>2</Sub>膜材料的下包层2、掺杂GeO<Sub>2</Sub>的SiO<Sub>2</S...
- 张玉书吴远大邢华张乐天
- 文献传递
- 火焰水解法制作SiO_2平面波导材料被引量：6
- 2001年
- 采用火焰水解法在Si基上淀积SiO2 /GeO2 :SiO2 预制材料 ,然后在真空中 /空气气氛中高温处理 ( 1380℃ )后 ,制得玻璃化的SiO2 /GeO2 :SiO2 膜材料。该材料膜厚适中 ( 10～ 30μm)、平整度好、光滑透明和适合制作单模、多模列阵平面波导光栅。利用XRD ,SEM和台阶仪等仪器对SiO2
- 吴远大邢华张乐天韦占雄郑伟刘国范张玉书
- 关键词：火焰水解法二氧化硅
- 波导材料二氧化硅厚膜的快速生长被引量：1
- 2002年
- 采用火焰水解法 (FHD)在Si片 (4 .5cm )上快速淀积疏松多孔的SiO2 厚膜材料 ,淀积速率达 8μm/min。然后将该材料分别在真空 /空气气氛中高温致密化处理 ,获得了各种形态的二氧化硅厚膜。其中包括平整度好、光滑透明的玻璃态SiO2 厚膜 ,该膜厚度达到 4 0 μm以上 ,完全适合制作平面光波导器件。最后 ,利用XRD、SEM、光学显微镜等仪器对SiO2 膜的表面和膜厚进行了测试分析 ,并讨论了影响致密化SiO2
- 吴远大邢华张乐天李爱武郑伟刘国范张玉书
- 关键词：波导材料火焰水解法致密化薄膜生长
- 二氧化硅厚膜材料的快速生长及其致密化处理被引量：4
- 2001年
- 采用火焰水解法 ( FHD)在 Si片上快速淀积出 Si O2 厚膜材料 ,材料膜厚 40 μm以上 ,生长速率 8μm/ min.将该材料分别在真空中和空气中高温致密化处理 ,获得各种形态的二氧化硅厚膜材料 .利用 XRD,SEM,电子显微镜等仪器对 Si O2
- 吴远大邢华卓仲畅余永森郑伟刘国范张玉书
- 关键词：火焰水解法玻璃态半导体
- 溶胶-凝胶制备Sn-SiO<sub>2</sub>光波导材料的基础研究
- 本论文的主要工作是用溶胶-凝胶法制备SiO 2 波导材料和Sn-SiO<sub>2</sub> 波导材料,研究了Sn-SiO<sub>2</sub> 对248nm准分子激光的光敏现象及机理。首先介绍了SiO<sub>2<...
- 邢华
- 关键词：光波导材料溶胶折射率改变准分子激光集成光学
- 硅基二氧化硅厚膜材料的快速生长
- 本文采用火焰水解法(FHD)在Si片上快速淀积SiO厚膜材料,材料膜厚达到40μm以上,生长速度率达8nm/分钟,然后将该材料分别在真空中/空气气氛中高温致密化处理,获得了各种形态的二氧化硅厚膜材料,包括平整度好、光滑透...
- 吴远大邢华郑伟刘国范张玉书
- 文献传递
- 蛋白芯片法检测乳管液肿瘤标志物的临床研究
- 邢华
- 关键词：乳管镜肿瘤标志物乳管扩张症蛋白芯片
- 文献传递
- 火焰水解淀积Si02膜的退火研究
- 2002年
- 本文采用火焰水解法在Si衬底上淀积了用于光波导下包层材料的SiO2膜，然后将其放入高温炉在空气中进行不同温度的退火处理。我们利用原子力量微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS），X射线衍射仪（XRD）及可变入射角椭圆偏振仪（VASE）对SiO2膜进行了测试分析。当退火温度达到1400℃时，SiO2膜致密均匀，适合用作波导的下包层。
- 张乐天王昕吴远大邢华李爱武郑伟张玉书
- 关键词：SIO2膜淀积波分复用系统二氧化硅膜
