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邱春燕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇朱鹤孙
  • 1篇陈川川
  • 1篇赵清华
  • 1篇邱春燕

传媒

  • 1篇高技术通讯

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
DCPJ法多次沉积制备金刚石厚膜的研究
1996年
用直流电弧等离子体喷射（ＤＣＰＪ）法进行多次沉积，在硅衬底上制备了金刚石厚膜。并用扫描电镜对这种厚膜的截面结构和表面状态进行分析，发现截面有明显的层状结构，在原来晶面上进行二次沉积是一个重新的成核过程。并对多次沉积过程中金刚石晶粒的生长特性进行了描述。
陈川川邱春燕赵清华朱鹤孙
关键词：化学气相沉积
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共1页<1>
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