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高向东
作品数:
2
被引量:10
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海硅酸盐研究所
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
李效民
中国科学院上海硅酸盐研究所
于伟东
中国科学院上海硅酸盐研究所
边继明
中国科学院上海硅酸盐研究所
赵俊亮
中国科学院上海硅酸盐研究所
张灿云
中国科学院上海硅酸盐研究所
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作者
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边继明
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于伟东
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李效民
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高向东
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张灿云
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赵俊亮
传媒
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液晶与显示
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1篇
2005
1篇
2003
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一种氮和铟共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法
边继明
李效民
高向东
于伟东
本发明的目的在于解决氧化锌薄膜中难于实现有效受主掺杂的困难,提供一种氮和铟共掺杂制备p型氧化锌薄膜的新方法,以满足制备氧化锌p-n结材料和ZnO基光电子器件的需要。具有工艺简单易行,成本低廉的优点。
关键词:
关键词:
氧化锌薄膜
氮-铟共掺杂ZnO薄膜的制备及表征
被引量:10
2005年
以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上沉积了氮铟(NIn)共掺杂ZnO薄膜。采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、塞贝克效应、光致发光谱等分析方法,研究了NIn共掺杂对所得ZnO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响规律。结果表明:通过氮铟共掺杂,ZnO薄膜的电学和光学性能发生明显改变。优化工艺条件下,所得ZnO基薄膜结构均匀致密,电阻率为6.75×103Ω·cm,并且在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,表明薄膜具有较理想的化学计量比和较高的光学质量。
边继明
李效民
张灿云
赵俊亮
于伟东
高向东
关键词:
ZNO薄膜
光致发光
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