高莉彬
- 作品数:18 被引量:0H指数:0
- 供职机构:电子科技大学更多>>
- 发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信金属学及工艺电气工程文化科学更多>>
- 一种背部刻槽型间接加热GeTe薄膜相变开关
- 本发明提出一种背部刻槽型GeTe薄膜相变开关,包括:衬底(Si),衬底隔离层(Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>);加热层(W);加热隔离层(Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>);...
- 高莉彬付帅帅曲胜陈宏伟
- 一种基于介电可调薄膜的微波铁氧体环形器
- 本发明属于微波可调器件与微电子材料领域,涉及微波铁氧体环形器,提供一种基于介电可调薄膜的微波铁氧体环形器,用于拓宽微波铁氧体环形器的带宽、降低插损。本发明环形器采用微带三端口结构,包括硅基片、设置于硅基片上的铁氧体厚膜、...
- 高莉彬孙延龙
- 文献传递
- 一种表面等离子体活化改善玻璃基板BCB键合的方法
- 本发明提供一种基于表面等离子体活化改善玻璃基板BCB键合的方法,属于三维集成封装制备技术领域。该方法通过对烘干后的BCB胶表面进行低温氩等离子体活化处理,增加烘干后BCB胶的表面活性,采用本发明方法拓宽了常规烘干时间的上...
- 张继华刘钟喆陈宏伟高莉彬
- 文献传递
- 一种基于介电可调薄膜的微波铁氧体环形器
- 本发明属于微波可调器件与微电子材料领域,涉及微波铁氧体环形器,提供一种基于介电可调薄膜的微波铁氧体环形器,用于拓宽微波铁氧体环形器的带宽、降低插损。本发明环形器采用微带三端口结构,包括硅基片、设置于硅基片上的铁氧体厚膜、...
- 高莉彬孙延龙
- 文献传递
- 反铁电材料体系的MLCC脉冲功率电容器及制备方法
- 一种反铁电材料体系的MLCC脉冲功率电容器及制备方法,属于电子信息材料与元器件技术领域。该脉冲功率电容器为“介质层/(电极层/介质层)n”多层结构,介质层为(Pb<Sub>1‑1.5a</Sub>La<Sub>a</Su...
- 陈宏伟王志强高莉彬张继华
- 文献传递
- 一种新型光驱动相变开关
- 一种新型光驱动相变开关,属于微波开关器件技术领域。所述光驱动相变开关包括衬底、衬底隔离层、相变层、射频传输层、光波导底层包层、光波导芯层和光波导包层。本发明提供的一种新型光驱动相变开关,将传统的电加热方式转变为光驱动加热...
- 高莉彬高赫璘孙延龙陈宏伟张继华
- 基于玻璃盲槽结构的三维集成电感
- 一种基于玻璃盲槽结构的三维集成电感,属于半导体集成电感领域。包括衬底、第一盲槽和第二盲槽,衬底的第一表面平行设置n条第一盲槽、一条输入端口盲槽、一条输出端口盲槽,第二表面平行设置n+1条第二盲槽;盲槽内填充导电金属材料,...
- 张继华何思祺陈宏伟高莉彬
- 一种用于铋基薄膜湿法刻蚀的刻蚀液
- 本发明针对采用HF水溶液作为刻蚀液难以刻蚀铋基薄膜材料、无法保证图形精度的技术问题,提供一种用于铋基薄膜湿法刻蚀的刻蚀液,属于材料技术领域,涉及微细加工技术,即光刻工艺中的刻蚀液。该刻蚀液以HF作为刻蚀剂、以NH<Sub...
- 蒋书文高莉彬李言荣李汝冠
- 文献传递
- 铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究
- 2010年
- 介绍了一种能对铋基焦绿石薄膜进行湿法刻蚀的有效方法,研究了HF,NH4F和HNO3的水溶液对铌酸锌铋(Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7,BZN)和铌酸镁铋(Bi1.5MgNb1.5O7,BMN)两种铋基焦绿石薄膜的刻蚀情况。结果表明,刻蚀配比V(HF)∶m(NH4F)∶V(HNO3)∶V(H2O)为10mL∶3g∶10mL∶10mL时,BZN和BMN薄膜能得到有效刻蚀,刻蚀速率分别为7nm/s和4nm/s,图形刻蚀精度高。最后讨论了该刻蚀液对铋基焦绿石薄膜的刻蚀机理,加入NH4F作为络合剂能避免刻蚀过程中三氟化铋BiF3难溶沉淀物的生成,加入HNO3作为助溶剂可以调节刻蚀速率,从而提高湿法刻蚀的图形精度。
- 高莉彬李汝冠蒋书文李言荣
- 关键词:湿法刻蚀图形化刻蚀液
- 浅谈新形势下的创新研究与课堂教学
- 2018年
- 世界经济高速发展,科技创新能力成为国与国之间实力较量的突破点。创新人才的培养是高校在新时期下的历史任务和重要职责。高校应该传承尊师重教的民族文化瑰宝,营造出"重教学"的良好文化氛围;教师要从思想上树立"教书育人"乃师之根本的思想信念,平衡好教学和科研的关系,培养出具有自主创新能力的国际一流人才。
- 高莉彬
- 关键词:教学高校教师