黄军容
- 作品数：9 被引量：29H指数：3
- 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程理学更多>>
- LIGA工艺在工程中的两类应用被引量：12
- 2002年
- 本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
- 高杨李枚彭良强张菊芳黄军容
- 关键词：密码锁加速度开关MEMS微电子机械系统微电铸
- LIGA技术高深宽比研究
- 本文着眼于LIGA技术高深宽比方面的研究，以提高本实验室用LIGA技术制作微细结构的深宽比为目的，从分析各因素影响深宽比的机理出发，再加以理论设计和实验工艺的优化和改善，分别研究讨论了影响深宽比的几大重要因素：掩模结构和...
- 黄军容
- 文献传递
- LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究被引量：1
- 2002年
- LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点 ,是一种先进的微细加工方法。实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中 ,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构 ,满足新型正电子慢化体的制备要求。
- 黄军容彭良强伊福廷于润升魏龙蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：LIGA技术电铸
- BSRF上的微细塑铸研究
- 2003年
- 利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 。
- 韩勇彭良强陈迪伊福廷张菊芳黄军容
- 关键词：BSRF同步辐射装置
- 3B1束线上LIGA掩模的设计研究
- 2003年
- BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。
- 黄军容彭良强伊福廷蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：光刻工艺掩模X射线
- 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
- 结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔洞。并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度...
- 邹丽芸张院春彭良强黄军容伊福廷张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工
- 文献传递
- 利用LIGA技术制作过滤介质被引量：5
- 2002年
- LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法。将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性能、流阻大小、可再生性等过滤性能。实验中,通过选用不同的材料、适当调整工艺步骤、以及结合微细电火花加工方法等,分别制作出了胶结构、镍结构、不锈钢、以及金结构等多组材料不同、过滤孔隙形状、大小各异的过滤介质,能满足多种不同过滤场合的需求。
- 黄军容彭良强伊福廷张菊芳韩勇蒋毅坚蒋毅坚
- 关键词：过滤介质LIGA技术
- 3B1束线上LIGA掩模的设计研究
- BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作.结合此研究目的...
- 黄军容彭良强伊福廷蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：光束线
- 文献传递
- 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究被引量：10
- 2004年
- 比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
- 邹丽芸张院春彭良强黄军容伊福廷张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工
