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吴晓华
作品数:
1
被引量:20
H指数:1
供职机构:
南京大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李宁生
南京大学
郑祥钦
南京大学
鲍希茂
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2000
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硅基多孔U-SiC薄膜的电致发光及其机理分析
被引量:20
2000年
单晶硅中注入高剂量的C+ 离子,注入能量为50keV,经高温退火后形成β-SiC沉淀,再经电化学腐蚀形成多孔β-SiC,样品表面蒸上一层半透明的金膜,在正向偏压高于25V 时,可以获得波长约为447nm 的蓝光发射, 而且该蓝光发射随着电压的升高而增强.文中还将多孔β-SiC薄膜的电致发光和其光致发光进行了比较。
吴晓华
鲍希茂
李宁生
廖良生
郑祥钦
关键词:
碳化硅薄膜
电致发光
发光机理
硅基
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