姚传荣
- 作品数：11 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：核科学技术机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量：2
- 2007年
- 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
- 董晓浩刘颖赵飞云徐德权徐向东周银贵汪啸姚传荣洪义麟付绍军徐朝银
- 关键词：离子束刻蚀机
- PC在XAFS光束线真空控制系统改造中的应用被引量：2
- 2002年
- 国家同步辐射实验室(NSRL)现已装备一台6 Tesla单周期超导Wiggler,把合肥同步辐射光源的可用范围从VUV延伸到X射线,以满足部分X射线用户的实验要求。Wiggler光源将引出三条光束线:现已建成并运行了的XAFS(X-ray absorption fine structure)光束线,正在建设的X射线衍射和散射光束线和LIGA光束线。本文主要介绍XAFS光束线实验站的真空控制系统及可编程控制器PC(Programmable Controller)在该控制系统改造中的应用。
- 徐锡林汪啸姚传荣李璐
- 关键词：光束线电子加速器PLC
- 智能冷阴极规管超高真空计的研制被引量：1
- 1998年
- 本文介绍作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据我室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求研制的。真空测量范围为5X10－1～5X10－8Pa。采用单片机Intel8031，设备结构简单，使用方便，运行可靠，功能可以扩充。
- 徐锡林刘益敏姚传荣徐为民
- 关键词：传感器超高真空计真空计
- 脉冲式分子束阀及控制器的研制
- 1994年
- 叙述了脉冲式分子束阀及脉冲式分子束阀控制器的研制。控制器提供内/外触发选择,触发延时0.05～3.0ms(8档可选),开阀时间0.1～1.5ms(8档可选),开阀脉冲控制0.05～1.0ms(8档可选),关阀及反冲控制0.1～1.0ms(连续可调),并有同步脉冲输出和驱动电流监测。本装置产生的脉冲分子束流可满足同步幅射实验室的需要,控制器还可用于其它气阀的控制。
- 徐锡林姚传荣
- 关键词：控制器
- PLC在光束线真空控制系统中的应用
- 2001年
- 光束线真空联锁保护与控制系统是保障同步辐射加速器与光束线、实验站安全可靠运行的至关重要的设备。采用标准化、高质量的可编程控制器（ＰＬＣ）为核心的光束线真空控制系统可以提高系统的可靠性、稳定性、抗干扰性和电磁兼容性。本文介绍了合肥同步辐射光源真空联锁保护与控制系统以及ＰＬＣ在该控制系统中的应用。
- 徐锡林汪啸姚传荣
- 关键词：控制系统光束线可编程控制器同步辐射加速器
- 光束线真空保护联锁与控制系统研制被引量：6
- 1998年
- 介绍了光束线前端区装置的组成及光束线真空保护联锁与控制要点。根据光束线真空保护联锁与控制的要求，本实验室研制了真空传感器、快速关闭阀及快阀控制器等真空保护联锁与控制系统所需的关键部件，进一步提高了光束线真空保护联锁与控制系统的反应速度和可靠性。
- 徐锡林刘益敏姚传荣
- 关键词：光束线联锁系统控制系统储存环
- 真空紫外单色仪光栅的波长扫描控制被引量：5
- 1999年
- 介绍了与安装在U10A光束线上的真空紫外单色仪Seya—Namioka配套使用的计算机控制波长扫描系统，描述了波长扫描原理以及软、硬件设计。
- 刘益敏徐锡林姚传荣
- 关键词：单色仪光栅波长扫描同步辐射光源
- 一种快速超高真空保护系统
- 2000年
- 为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要 ,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计 ,给出了光束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例。
- 徐锡林汪啸姚传荣光霞
- 关键词：真空计
- 用于多光源原位结构检测的材料拉伸和压缩装置
- 本实用新型涉及用于多光源原位结构检测的材料拉伸和压缩装置。该装置底板上设有带减速器的伺服电机、双向螺杆和滑动导轨，伺服电机输出端与双向螺杆对应端设有一对齿轮副，双向螺杆上两侧分别通过螺母连接着固定支架，固定支架另一端分别...
- 汪啸邵春光赵佰金洪义麟姚传荣李良彬
- 文献传递
- 可编程控制器在光束线真空控制系统中的应用被引量：1
- 2002年
- 光束线真空联锁保护与控制系统是保障同步辐射加速器与光束线、实验站安全、可靠运行的至关重要的必要设备。采用标准化、高质量的可编程控制器 (PL C)为核心的光束线真空控制系统可以提高系统的可靠性、稳定性、抗干扰性和电磁兼容性。本文介绍了合肥同步辐射光源真空联锁保护与控制系统以及 PL
- 徐锡林汪啸姚传荣
- 关键词：光束线可编程控制器真空系统加速器
