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孔祥玲

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇气体流量
  • 1篇温度
  • 1篇控制系统
  • 1篇计算机控制
  • 1篇计算机控制系...

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇王庆
  • 1篇孔祥玲
  • 1篇徐香坤

传媒

  • 1篇工业控制计算...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统被引量：4
2007年
针对RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点,开发了基于PC-PLC的RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统。介绍了RF-500型CVD镀膜机的结构以及工作原理;并对该控制系统的硬件结构和软件功能进行了描述。对该控制系统的控制效果进行了大量的实验研究,研究结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制。
徐香坤孔祥玲王庆
关键词：温度气体流量计算机控制
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