孙凤鸣
- 作品数：8 被引量：29H指数：3
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：天津市科技发展战略研究计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术理学更多>>
- 激光微加工系统及其控制单元的研究被引量：1
- 2009年
- 针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统。在介绍了各个部分的功能之后,重点分析了控制单元,包括上位机图形解析平台及以DSP和FPGA为核心的下位机控制硬件。通过实验分析和算法优化,解决了加工误差,在单晶硅表面得到了较好的微结构加工效果。
- 邬泳傅星刘春阳孙凤鸣胡小唐
- 关键词：控制系统DSPFPGA
- 纳秒激光在硅表面微结构加工及其荧光效应
- 2010年
- 本文自主研发设计了一套基于纳秒脉冲激光的加工系统,包括了控制单元、上位机图形软件、机械结构和光路系统。利用此系统,在单晶硅表面进行了微结构图形的加工实验,得到了较好的加工效果。借助卤素灯照明的显微镜和荧光显微镜对结果进行了进一步的观察分析,发现利用荧光显微镜进行观察,加工后的区域在特定波长照明光的照射下激发出荧光,可以清楚的看到加工结构的内部信息,边缘特征。说明纳秒脉冲激光可以改变硅材料表面的光学属性,这对进一步研究激光和硅材料的相互作用打下了一定的基础。
- 邬泳夏一傅星孙立东刘春阳孙凤鸣Peter Zeppenfeld胡小唐
- 关键词：微加工硅材料
- 应用于短脉冲激光加工的自动调焦系统被引量：4
- 2010年
- 针对现有的纳秒脉冲激光微加工系统,设计了基于图像处理的自动调焦系统。从焦点检测的历史背景出发,结合光学的成像原理,提出了以图像梯度为对焦评价函数的自动调焦技术。把此自动调焦系统应用于原系统中,形成了以控制单元、激光器、机械结构和光路系统为主要组成部分的纳秒脉冲激光微加工系统。通过对加工实验效果和对焦评价函数曲线的对比分析,证实了此调焦系统适用于短脉冲激光加工,从而有效地提高了系统的加工精度和效率。
- 邬泳傅星周志远刘春阳孙凤鸣胡小唐
- 关键词：自动调焦激光加工图像梯度图像处理
- 基于MEMS的微位移传感器及其应用研究被引量：9
- 2013年
- 对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。
- 孙凤鸣傅星朱振宇高赛张超
- 355nm纳秒脉冲激光在硅表面照射形成微结构及其荧光检测被引量：13
- 2010年
- 利用自主研发设计的波长为355 nm的纳秒脉冲激光微加工系统,在硅（100）表面进行照射加工,形成了线槽宽度约25μm的微结构。利用荧光显微检测和光谱检测等观测手段,对形成的线槽结构进行观测分析,发现加工过的区域可以发生强烈的光致发光现象。使用波长范围为400～440 nm的照明光照射加工区域,可以激发出波长范围为400～700 nm的荧光,且荧光光强随时间呈现指数衰减变化。从而证实了纳秒脉冲激光的照射加工改变了硅材料的光学属性,为利用脉冲激光加工制备硅基光电器件和结构进行了探索。
- 刘春阳孙立东傅星孙凤鸣胡春光Peter Zeppenfeld胡小唐
- 关键词：激光技术微加工荧光检测
- 纳秒脉冲激光照射对多壁碳纳米管薄膜形貌的影响
- 2010年
- 采用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)自制的碳纳米管阵列为原料,经过研磨、灼烧纯化得到分散的多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs).采用纳秒脉冲激光(波长355 nm),分别在不同条件下对丝网印刷法制备的MWCNTs薄膜进行照射.扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)表征结果表明,进行相互垂直的双向扫描照射的效果明显好于单向扫描照射的效果,即由前者得到的MWCNTs的网状结构的立体感更明显,单位面积的MWCNTs端点更多;随着脉冲激光能量密度的逐渐增加,突出于表面的MWCNTs端点逐渐增多,以MWCNTs为主的网状分布的轮廓逐渐清晰;脉冲激光重复频率的增加,也有利于改善MWCNTs薄膜表面的形貌.经过脉冲激光能量51.0μJ(1.03 W)、频率20 kHz的脉冲激光照射后,得到以MWCNTs为主的、立体感显著、比较稀疏的网状分布结构,且单位面积的MWCNTs端点数目显著增多.
- 孙凤鸣步伟艳王慧薛涛姚琲傅星崔屾
- 关键词：NANOTUBEMICROSCOPE形貌
- 基于锁相放大技术的激光超声信号处理电路的设计被引量：2
- 2012年
- 利用激光声表面波(SAW)技术对膜材料机械特性的测量(如杨氏模量、密度、厚度等)已得到了越来越广泛的应用。但激光激发激光检测声表面波(LG/LD-SAW)的频谱带宽较宽(达几百兆到GHz),一般的检测方法难以在如此高的带宽下对其进行检测。设计了一种基于锁相放大(LIA)原理的微弱信号处理电路,通过应用一特殊的去噪电路,能在很宽的频谱(GHz)范围检测微弱信号,并将其从噪声信号中提取出来。
- 金宝印Dante Dorantes白茂森孙凤鸣李艳宁陈治胡小唐
- 关键词：锁相放大微弱信号
- 基于MEMS的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究
- 扫描探针显微镜(SPM)凭借其原子级的分辨力迅速在表面科学、材料科学、生命科学等研究领域中得到广泛的应用,但是随着科学研究和工业应用对成像范围、扫描速度等需求的提高,迫切希望SPM性能也随之提高。本文研究了一种基于微机电...
- 孙凤鸣
- 关键词：扫描探针显微镜微机电系统技术纳米测量机
