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李家文
李家文
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温州大学
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合作作者
孙树峰
温州大学
黄文浩
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薛伟
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1篇
2013
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基于激光微纳加工的MEMS零部件低成本批量制造关键技术及其应用
万熠
吴旭浩
周斯加
孙树峰
张淼
李家文
李峰平
王翔
王舜
王萍萍
蔡丰勇
薛伟
郑宣成
黄文浩
微型机械与电子技术相结合使种类繁多的微机电系统(MEMS)问世,MEMS不仅在于尺寸和体积缩小,其目标更在于通过微型化、集成化,探索新原理、新功能元件和系统,开辟一个新的技术领域,形成批量化生产产业,完成大型机电系统所不...
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微机电系统
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