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李建国

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇曲面
  • 1篇微结构
  • 1篇光滑曲面
  • 1篇分子
  • 1篇分子量
  • 1篇SIC衬底
  • 1篇MGB2
  • 1篇超导
  • 1篇超导薄膜
  • 1篇衬底

机构

  • 2篇中国科学院
  • 1篇北京大学

作者

  • 2篇孔祥东
  • 2篇韩立
  • 2篇初明璋
  • 2篇李建国
  • 1篇戴倩
  • 1篇冯庆荣
  • 1篇薛虹

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的可行性研究被引量：3
2012年
提出了电子束退火制备MgB2超导薄膜新工艺。在对电子束退火制备MgB2超导薄膜可行性进行理论研究的基础上,使用EBW-6型电子束热处理设备,在真空度5.0×10-3Pa、加速电压40 kV、束流2mA、束斑14.2mm、退火时间1.5 s的条件下对[B(10 nm)/Mg(15 nm)]4/SiC夹层结构前驱膜进行了退火实验,得到了零电阻温度为30.3K、转变宽度ΔTc为0.4K、临界电流密度(5 K、0 T)为5.0×106A/cm2、表面平整的MgB2超导薄膜。证明了电子束退火制备MgB2薄膜是切实可行的。该工艺可以推广到大面积MgB2超导薄膜和MgB2线带材的制备。
孔祥东戴倩韩立冯庆荣初明璋薛虹李建国
关键词：MGB2超导薄膜SIC衬底
电子束曝光制备光滑曲面微结构被引量：1
2011年
提出了一种基于电子束曝光制备光滑曲面微结构的新技术。对聚合物玻璃转化温度与分子量之间的关系、分子量与电子束吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现聚合物玻璃转化温度随吸收能量密度的增加而减小。以此为依据,在FEI820Dual Beam FIB/SEM系统上采用15keV、不同剂量的电子束对S1805正性抗蚀剂微结构进行了曝光实验,得到了具有不同高度、轮廓清晰的光滑曲面微结构,为使用电子束曝光技术加工光滑曲面微结构提供了新工艺。
孔祥东韩立初明璋李建国
关键词：电子束分子量
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