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李慧玉

作品数：3 被引量：9H指数：1
供职机构：东华大学更多>>
发文基金：上海市科学技术发展基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇潘宁放电
  • 2篇等离子体
  • 2篇纳米
  • 2篇光谱
  • 2篇发射光谱
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化物
  • 1篇等离子体诊断
  • 1篇纳米级
  • 1篇纳米膜
  • 1篇化物
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射沉积
  • 1篇光谱分析
  • 1篇发射光谱分析
  • 1篇放电等离子体
  • 1篇AIN薄膜
  • 1篇ALN薄膜

机构

  • 3篇东华大学

作者

  • 3篇李慧玉
  • 2篇施芸城
  • 2篇杨平
  • 1篇闫永辉

传媒

  • 1篇物理实验
  • 1篇真空

年份

  • 2篇2006
  • 1篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
潘宁型放电等离子体的发射光谱分析被引量：9
2005年
重新设计了潘宁型等离子体源实验装置,在低气压下得到了稳定的等离子体.分析了等离子体的发射光谱,得到了等离子体光谱强度与放电气压和放电电压之间的关系,并且对氮气的发射光谱进行了分析.
李慧玉施芸城冯贤平杨平
关键词：潘宁放电等离子体诊断发射光谱
潘宁放电溅射沉积纳米级AlN薄膜的性质
2006年
设计并制造了新的潘宁型等离子体源实验装置,分析了等离子体的发射光谱和产生A lN的动力学机理。在室温条件下,纯氮气的工作环境中用潘宁放电离子源溅射的方法,在S i(100)衬底上制备了纳米级的光滑平整A lN薄膜。本文用扫描电镜(SEM),原子力显微镜(ATM),红外吸收光谱(FT IR)和拉曼光谱(R am ansh ift)等测试分析技术用来研究了薄膜的微结构特征。
李慧玉施芸城闫永辉杨平冯贤平
关键词：潘宁放电溅射AIN薄膜
潘宁放电及其制备纳米膜的研究
本文主要论述了采用潘宁放电(Penning Discharge)方法来制备纳米陶瓷氮化物薄膜。其中重点研究的潘宁等离子体放电方法是一种新型的制备纳米氮化物薄膜的方法。另外，作为早期的附加工作，还对潘宁放电方式的等离子体发...
李慧玉
关键词：潘宁放电氮化物等离子体发射光谱纳米膜
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