殷纯永
- 作品数：141 被引量：585H指数：12
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 一种实现高精度稳定Zeeman激光频差的方法被引量：5
- 1996年
- 为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度、直线度测量方面有效的发挥出来，有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术，为此，需要稳定Ｚｅｅｍａｎ激光的频差。本文提出一种基于８０９８单片机系统的智能化稳频差方案，不但保证了频差的稳定性，而且每次开机还能自动搜寻频差极值，从而保证了光频的复现性。系统经过实验验证，频差变化小于５ｋＨｚ／５ｈ，工作稳定可靠，可以满足比相的要求。
- 成相印郭继华殷纯永
- 关键词：频差稳频双频激光干涉仪
- 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
- 2005年
- 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。
- 柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学线宽共焦显微术
- 提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究被引量：6
- 2006年
- 文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。
- 孙文科许婕殷纯永李岩
- 关键词：法布里-珀罗腔空气折射率
- 一种测量滚转角的新方法被引量：12
- 1999年
- 提出了一种基于横向塞曼激光器的滚转角测量系统,实现了大范围、高精度的滚转角测量。系统利用四分之一波片将横向塞曼激光器射出的正交线偏振光轻微椭偏化,检偏器作为滚转角传感器跟随被测件转动,再用光电探测器检测出射光的相位变化,得到检偏器的滚转角变化。这时相位变化与转角成非线性关系,在特定的角度上出现测量转角的灵敏度倍增区。采用这种方法,可以实现大范围的滚转角测量,并且在特定的角度上得到很高的灵敏度。使用分辨率为0.01°的相位计,滚转角的测量分辨率达到0.
- 蒋弘殷纯永
- 关键词：测量系统
- 基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量被引量：14
- 2001年
- 主轴热误差是数控机床的主要热误差源 ,本文提出了一种使用三路单光束干涉仪 (SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法 ,可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明 ,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大 ,约为 50μm ,测量误差约为 1 0 μm。
- 高赛曾理江殷纯永郑力叶佩青
- 关键词：数控机床
- 球冠型入射光学系统中等效辐射平面位置的计算被引量：5
- 2006年
- 为了满足包括太阳直射和天空散射在内的2π球面度立体角范围的入射光线的测量需求,要求太阳紫外光谱辐射测量装置的入射光学系统必须具备较好的余弦响应特性。研制的入射光学系统由聚四氟乙烯积分球、磨砂石英球冠型余弦漫射器和修正环组成。
- 代彩红于家琳于靖殷纯永
- 关键词：计量学光谱学光谱辐射照度
- 100米无衍射光束的实现被引量：8
- 1999年
- 超长距离的准直细光束在大地测量和空间测量中有广泛的应用价值。用能量守恒法设计的无衍射器件是对数面形，很难用传统的方法加工。采用二元光学方法制成的器件实现了沿光轴方向１０ｍ～１２０ｍ这１１０ｍ的超长距离内，无衍射光束的光斑直径小于５ｍｍ。
- 王海涛殷纯永王东生
- 关键词：无衍射光束
- 磁光调制器的热分析被引量：4
- 1997年
- 本文用有限元法对磁光调制器的热特性和温度分布进行了计算分析，与实验测量结果比较，二者符合良好。基于理论计算，对旋光准直仪中的磁光调制器进行了改进，使开机后的预热时间缩短了６０％，磁光介质的温升降低了３０％。
- 成相印方仲彦殷纯永殷纯永
- 关键词：磁光调制器热分析调制器
- 基于物理模型的光谱辐射照度标准灯数据处理方法被引量：2
- 2009年
- 根据光谱辐射照度标准灯（卤钨灯）的数据曲线具有精确数学物理模型的特点，提出广义数学函数变换和标准灯数学物理模型相结合的数据分析和处理方法，能够准确发现并修正光谱辐射照度测量中的不可靠数据点。在2004年国际计量局组织的250~2500 nm光谱辐射照度国际关键比对CCPR-K1 a，对测量结果中的不可靠数据点进行修正处理后，我国的光谱辐射照度量值与国际参考值之间的一致性优于1.5%.
- 代彩红吕正于家琳于靖林延东殷纯永
- 关键词：计量学光谱辐射照度数据处理
- 外场用烟幕遮蔽效果测量系统被引量：2
- 2005年
- 首先明确了烟幕透过率、有效遮蔽面积、形成时间与有效持续时间的概念;然后介绍了一套外场试验用烟幕遮蔽效果测量系统,可以同时实现多点、多波段、多波长的红外和激光透过率测量;最后对其主要测量参数作了分析.
- 李明范东启康文运王云萍殷纯永
- 关键词：烟幕红外透过率
