您的位置： 专家智库 > >

王家富

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体炬
  • 1篇电容耦合
  • 1篇抛光
  • 1篇SIC
  • 1篇常压等离子体
  • 1篇超光滑

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇张巨帆
  • 1篇王波
  • 1篇董申
  • 1篇王家富

传媒

  • 1篇航空精密制造...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
用于SiC超光滑表面加工的大气等离子体抛光系统设计被引量：2
2008年
设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中。针对SiC反射镜的加工实验结果表明,系统工作正常,并可以实现亚纳米级的表面粗糙度。
王家富王波张巨帆董申
关键词：常压等离子体超光滑抛光电容耦合等离子体炬
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0