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王磊
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院广州能源研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
动力工程及工程热物理
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合作作者
邹禧武
中国科学院广州能源研究所
梁宗存
中国科学院广州能源研究所
班群
中山大学物理科学与工程技术学院...
胡芸菲
华南理工大学机械与汽车工程学院
闻立时
华南理工大学机械与汽车工程学院
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机构
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华南理工大学
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中山大学
作者
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沈辉
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刘正义
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闻立时
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班群
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梁宗存
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王磊
1篇
邹禧武
传媒
1篇
华南理工大学...
年份
1篇
2005
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1
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用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
被引量:2
2005年
以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量.借助台阶仪、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段对颗粒硅带及多晶硅薄膜进行了表面轮廓、结晶质量和微观形貌的表征.结果表明:区熔后的颗粒硅带表面平整度得到了较好的改善;表面具有[311]择优方向的硅带区熔后都倾向[111]择优;在区熔硅带衬底上沉积的多晶硅薄膜晶粒尺寸在100μm以上,但暂无明显证据证明区熔对薄膜结晶质量有显著提高.
胡芸菲
沈辉
王磊
邹禧武
班群
梁宗存
刘正义
闻立时
关键词:
区熔
颗粒硅带
多晶硅薄膜
平整度
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