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王艳南
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华东理工大学材料科学与工程学院
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相关领域:
理学
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合作作者
孙海涛
华东理工大学理学院物理系
陆慧
华东理工大学理学院物理系
方彬
华东理工大学
李成武
华东理工大学理学院物理系
林贤
华东理工大学理学院物理系
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潘孝仁
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方彬
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陆慧
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孙海涛
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王艳南
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1篇
真空科学与技...
年份
1篇
2011
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GDARE法制备不同厚度ZnO薄膜的热电性质
被引量:1
2011年
以气体放电活化反应蒸发(GDARE)沉积法通过多次沉积制备不同厚度ZnO薄膜。原子力显微镜和X射线衍射测试分析表明,所得ZnO薄膜具有纳米颗粒多晶结构,粒径在30~70 nm,晶粒尺寸随薄膜厚度增加而增大,不同厚度的薄膜均具有高度的c轴取向性。由GDARE法沉积的ZnO薄膜具有较高的温差电动势率S(Seebeck系数),厚度200 nm的薄膜在440K附近S可达600μV/K。相同温度下,薄膜的温差电动势率S与电阻率ρ均随着膜厚的增加而减小。在考察了薄膜电阻率与温差电动势率的综合影响后,得到在440 K附近,厚度为600 nm的ZnO薄膜具有相对最优秀的热电性能。讨论了ZnO薄膜的表面电传导过程及温差电动势产生机制。
孙海涛
李成武
陆慧
方彬
林贤
王艳南
潘孝仁
关键词:
氧化锌薄膜
电阻率
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