王超 作品数:31 被引量:20 H指数:2 供职机构: 兰州空间技术物理研究所 更多>> 发文基金: 表面工程技术重点实验室基金 更多>> 相关领域: 理学 电子电信 机械工程 金属学及工艺 更多>>
8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及一种8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系,长波通膜系结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法 本发明公开了一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法,属于光学薄膜领域。所述方法包括基片的清洗、离子束轰击活化基片、过渡层的镀制、长波红外光学薄膜的镀制几个步骤。所述方法整个过程工艺稳定,重复性好,操作简便,可操作性... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种8~8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及一种8~8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系;长波通膜系结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57l)... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种多光谱组合滤光片的制备方法 本发明涉及一种多光谱组合滤光片的制备方法,属于光学薄膜制备技术领域。所述方法步骤为:(1)粘接胶配制;(2)滤光片清洗;(3)滤光片涂胶;(4)粘接胶固化;(5)拼接滤光片检测。所述方法工艺稳定,操作简便,重复性好,且所... 李晨 王多书 张玲 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递 一种提高长波红外滤光片光谱截止带边缘陡度的方法 本发明公开了一种提高长波红外滤光片光谱截止带边缘陡度的方法,属于光学薄膜领域。所述方法包括膜系设计、膜系镀制、膜系光谱测试、误差分析、膜系调整等五个步骤。所述方法的整个过程工艺稳定,重复性好,操作简便,产品合格率高。采用... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 真空度对TiO_2薄膜光学和结构特性的影响 被引量:5 2010年 为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响。真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3Pa变化到2.5×10-3Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜。采用分光光度计测试其光谱,SEM测试其表面形貌。测试结果发现,TiO2薄膜的透过率峰值随真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低而减小,薄膜表面形貌随真空度降低从致密变粗糙。在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最佳,此时最大透过率92%,折射率在2.45~2.20之间,消光系数在10-4以下。根据Cauchy公式拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4。 董茂进 陈焘 王济洲 王多书 王超关键词:TIO2 真空度 光学特性 结构特性 一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法 本发明涉及一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法,属于功能薄膜制备领域。所述方法具体包括清洁真空室、清洗基片、装基片、真空室抽真空、等离子体清洗靶材和二次电子发射薄膜沉积六个步骤。采用所述方法制备的二次电子发射... 李晨 张玲 王多书 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递 可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法 本发明涉及可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法,属于表面技术领域。该分色片包括硒化锌基底及基底一侧膜系;膜系结构为(0.3h0.6l0.3h)^10(0.38h0.76l0.38h)^10(0.5hl0.5... 王多书 王济洲 熊玉卿 董茂进 王超 张玲 李晨文献传递 电子束蒸发TiO_2膜通氧量对薄膜光学性能的影响 被引量:2 2015年 研究了不同通氧量对电子束蒸发沉积二氧化钛薄膜的光学性能影响.随着氧气流量从37.4×10^-3 Pa·m^3·s^-1增加到61.2×10^-3 Pa·m^3·s^-1,真空室的真空度从1.4×10^-3 Pa 变化到2.5×10^-3 Pa,可以得到不同光学性能的二氧化钛薄膜.采用分光光度计测试其光谱,结果发现TiO2薄膜的透射率峰值随着真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低先升高后降低.在真空度2.0×10^-3 Pa 的工艺条件下,成膜质量最优,透射率为92%,折射率在2.50~2.20 之间,消光系数在10^-4以下.根据Cauchy 方程拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.17+6.12×10^4/λ^2+2.98×10^8/λ^4. 王超 王多书 王济洲 李坤 李晨 高欢关键词:TIO2 真空度 光学性能 1.55~1.75μm透过短波红外滤光片及制备方法 本发明涉及1.55~1.75μm通过短波红外滤光片及制备方法,属于表面技术领域。该滤光片包括硅基底、基底两侧的长、短波通膜系;长波通膜系结构为(0.5hl0.5h)^10,中心波长1250nm;短波通膜系结构为(0.5l... 王济洲 熊玉卿 王多书 董茂进 王超 张玲 李晨文献传递