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秦宗益

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化物
  • 1篇直流辉光
  • 1篇直流辉光放电
  • 1篇质谱
  • 1篇化物
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇上海市机电工...

作者

  • 1篇王培南
  • 1篇应萱同
  • 1篇沈宏
  • 1篇秦宗益
  • 1篇王培元

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氮原子离子束源的设计研制与应用
2003年
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。
王培元沈宏秦宗益应萱同王培南
关键词：直流辉光放电质谱氮化物
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共1页<1>
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