裴舒
- 作品数：29 被引量：98H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信化学工程更多>>
- 用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究被引量：9
- 2010年
- 提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10nm.
- 王波梁中翥孔延梅梁静秋付建国郑莹朱万彬吕金光王维彪裴舒张军
- 关键词：傅里叶变换光谱仪微光机电系统空间调制
- 软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算被引量：15
- 1995年
- 介绍在研制软Ｘ光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分Ｘ光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表（界）面粗糙度等对性能的影响。
- 张俊平曹健林马月英高宏刚陈斌吕俊霞裴舒陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜激光反射镜膜系设计
- 激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术被引量：5
- 2003年
- 讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光学表面的分形特征。
- 王金林陈明韩荣久刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所裴舒
- 关键词：激光陀螺相移干涉原子力显微镜分形
- 磁控溅射法制备Mo/B_4C软X射线多层膜被引量：1
- 1999年
- 用DC和RF磁控溅射法制备出了波长小于 10nm波段的Mo/B4 C软X射线多层膜反射镜。掠入射X射线衍射仪的测量结果表明 ,磁控溅射法有很高的控制精度 ,制备出的Mo/B4 C软X射线多层膜周期结构非常好 ,表 (界 )面粗糙度非常小 ,约为 0 4nm。
- 吕俊霞马月英裴舒曹健林陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜
- 软X射线激光多层膜均匀性控制技术被引量：2
- 2001年
- 软 X射线激光技术在近年来得以较快的发展 ,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术 ,软 X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平。现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究 ,以期得到更加精确的膜层结构。
- 林炳金春水马月英裴舒曹健林
- 关键词：软X射线激光多层膜
- 一种超高亮度微显示器件的研究
- 梁静秋王维彪朱万彬梁中翥王波王淑荣陈斌裴舒金霞李佳
- 超高亮度微显示器件成果属于显示技术领域，本成果以MEMS技术为基础，采用湿法腐蚀方法在AlGaInP发光芯片上制备LED集成阵列，解决了高深宽比隔离沟槽的制备难题，制作了小体积、低功耗和高密度像素的LED微显示器件。实际...
- 关键词：
- 关键词：显示器件LED超高亮度
- 软X射线激光多层膜均匀性控制技术
- 软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究,以期得到更加精确的膜层结构.
- 林炳金春水马月英裴舒曹健林
- 关键词：软X射线激光多层膜
- 文献传递
- 用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件
- 1999年
- 介绍了软X射线Bragg Fresnel光学元件的特点 ,并以磁控溅射法制备多层膜 ,再采用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成波带片图形 ,通过显影。
- 王占山马月英吕俊霞高宏刚刘毅楠裴舒曹健林徐向东洪义麟付绍军
- 关键词：软X射线光学元件多层膜
- 用磁控溅射法制备软X射线多层膜被引量：4
- 1995年
- 本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软ｘ射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设计周期制备了多层膜样品，并给出了Ｘ射线衍射仪小角衍射的检测结果。
- 张俊平马月英高宏刚陈斌裴舒吕俊霞曹健林
- 关键词：磁控溅射软X射线多层膜
- 极紫外投影光刻原理装置的集成
- 本文论述了光刻技术发展的历程、趋势和极紫外投影光刻技术的特性,并介绍了极紫外投影光刻原理装置的研制工作.该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、Schwarzschild微缩投影物镜及相应的真空系统组成.其...
- 金春水马月英裴舒王诚曹健林
- 关键词：极紫外投影光刻
- 文献传递
