钟扬音
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
- 纳米线条电子束曝光工艺条件研究
- 纳米线条在超导单光子探测、超导隧道结等超导电子学器件中具有广泛的应用。本文基于电子束曝光，实验上在大面积范围内获得了均匀的纳米线条。与此同时，对电子束曝光剂量、显影时间、光刻胶的旋涂等工艺条件进行了系统的研究。这些工艺条...
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- 文献传递
- 超导红外单光子探测器被引量：6
- 2008年
- 设计并制备了一套基于超导NbN薄膜材料的红外单光子探测器,以及其相应的检测电路和光路系统等,并将该探测系统应用于波长为1550nm的光子探测.通过实验和计算分析了该器件的动态电感、光响应、暗计数、脉冲重复速率和量子效率等参数.分析表明,该探测系统可用于红外单光子计数,具有暗计数低、重复速率快等特点,在众多邻域具有重要的应用前景.
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- 关键词：单光子探测器超导量子通信红外
- 超导HEB器件制备中的图形转移技术研究
- 2008年
- 超导HEB热电子混频技术是目前1THZ以上频段的最佳候选技术。在HEB器件的制备中,成功刻蚀微桥是关键。文章利用EBL、光刻技术、RIE技术相结合的方式,对如何成功刻蚀微桥进行了深入研究。并通过对EBL、光刻技术和RIE条件的研究分析,确定了最佳实验条件,成功实现了HEB器件的图形转移。
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- 关键词：EBL光刻RIE
- 高温超导本征结加工中的氩离子铣技术被引量：1
- 2011年
- 最近,用高温超导单晶Bi2Sr2CaCu2O8+x制备本征结器件从而实现太赫兹辐射源的研究有较大突破,而本征结器件的样品制作仍需细致而深入的研究.为此我们首先借助于单晶硅,制作了矩形的高台(mesa)结构,观测了在不同离子加速电压和不同离子束入射角度下,氩离子铣的刻蚀速度和刻蚀形成台阶侧壁的形貌,给出了一种刻蚀速率高、台阶侧壁陡峭、对样品损伤小的刻蚀方案,用此方法加工出的高温超导本征结器件在一定条件下可以得到太赫兹辐射信号.
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- 关键词：太赫兹辐射
- 300mK下超导单光子检测器性能
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