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陆家和

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇离子束
  • 2篇聚焦离子束
  • 1篇电源
  • 1篇电子器件
  • 1篇掩模
  • 1篇质谱
  • 1篇质谱仪
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇双极性
  • 1篇偏转放大器
  • 1篇稳压
  • 1篇稳压电源
  • 1篇离子显微镜
  • 1篇脉冲化
  • 1篇脉冲束
  • 1篇刻蚀
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机模拟
  • 1篇间质
  • 1篇光电

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇陆家和
  • 2篇李荣玉
  • 1篇薛钰芝
  • 1篇张志远
  • 1篇薛祖庆
  • 1篇毕建华

传媒

  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇第一届全国二...

年份

  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1990
  • 1篇1989
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
聚焦离子束(FIB)刻蚀在光电子器件方面的应用被引量：5
1994年
聚焦离子束无掩模微细加工技术逐渐引起人们的兴趣，它包括聚焦离子束无掩模刻蚀、注入、往积、光刻等。聚焦离子束刻蚀能在半导体激光器材料上加工得到具有光学精度的表面。首先论述聚焦离子束刻蚀的特点，然后概括说明目前它在光电子器件方面的若干应用。
毕建华陆家和
关键词：聚焦离子束光电子器件
扫描离子显微镜的研究被引量：4
1990年
扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪(即SIM/ToF-SIMS)的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10^(-9)A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI两种象。
薛钰芝李荣玉薛祖庆陆家和
关键词：离子显微镜飞行时间质谱仪SIMS聚焦离子束掩模扫描电子显微镜
两种离子束脉冲化方法的研究
俞学东陆家和
关键词：离子束脉冲束计算机模拟
双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器
1989年
离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10^(-6),带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。
李荣玉陆家和张志远
关键词：偏转放大器稳压电源
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