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齐晓薇
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北方液晶工程研究开发中心
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合作作者
骆文生
北方液晶工程研究开发中心
张玉
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一种新的非离子注入方法制备多晶硅薄膜晶体管
TFT-LCD已成为平板显示的主流.作者尝试了一种新的不采用离子注入的方法制备P-Si、TFT单管器件,并取得了初步成功,测得的电流开关比为10<'4>.
付国柱
张玉
荆海
骆文生
汪永安
吴渊
齐晓薇
关键词:
多晶硅薄膜晶体管
液晶显示器
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