严康宁
- 作品数：6 被引量：5H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- SnO_2超微粒薄膜多功能气体传感器被引量：3
- 1992年
- 为了制造一种新型的多功能气体传感器,我们研制了二氧化锡超微粒薄膜,并对其结构作了深入的分析;此外,还研制了SnO_2超微粒薄膜多功能气体传感器,优选了它以上的结构,测试了它的气敏特性。本文是对以上研究的扼要论述。
- 曲喜新严康宁张鹰
- 关键词：二氧化锡气体传感器
- 溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响
- 1引言近年来,随着声表面波器件在信号变换及传输领域的应用日益扩大,压电薄膜受到越来越多的重视。将ZnO、AlN两种薄膜材料复合起来,制作为层状结构,利用两层薄膜的界面耦合进行声表面波传输,可以获得高声速、高耦合系数的优良...
- 张鹰严康宁曲喜新
- 文献传递
- 一种平面磁控溅射靶
- 本实用新型是关于平面磁控溅射靶，应用于高速，均匀淀积薄膜的磁控溅射。它是由磁体、磁隙、磁体密封罩和冷却系统组成。靶内磁体采用了倾斜极面、并与磁隙相应配合，组成磁路。这样增加了磁场平行分量、减小磁通外漏、具有靶的刻蚀均匀度...
- 欧阳煦曲喜新严康宁
- 文献传递
- ＳｎＯ２超微粒薄膜多功能气体传感器
- 曲喜新严康宁张鹰
- 关键词：气敏器件氧化锡超细粉平均晶粒度显微组织(金相学)
- 二氧化锡超微粒薄膜的结构被引量：3
- 1990年
- 为了制造一种新型气敏传感器,研制了二氧化锡超微粒薄膜,并对其结构作了研究。此外,还估算了它的内表面积。
- 曲喜新李勇严康宁
- 关键词：气敏传感器SIO2
- ZnO/AlN复合压电薄膜的研制
- 1993年
- 各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。
- 曲喜新杨革严康宁
- 关键词：压电薄膜磁控溅射压电材料
