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何方

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第十八研究所更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电气工程

主题

  • 1篇电场
  • 1篇电路故障
  • 1篇电子枪
  • 1篇电子束蒸发
  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜机
  • 1篇坩埚
  • 1篇可编程控制
  • 1篇可编程控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇工控
  • 1篇工控机
  • 1篇分析方法
  • 1篇编程控制
  • 1篇编程控制器
  • 1篇PLC
  • 1篇磁场
  • 1篇磁偏转电子枪
  • 1篇程控制

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇陈晓东
  • 2篇宋健
  • 2篇王磊
  • 2篇何方

传媒

  • 2篇电源技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
镀膜机控制系统原理及电路故障分析方法被引量：1
2011年
高真空镀膜机是目前应用电子束蒸发获得真空条件最为广泛的设备。空间用砷化镓太阳电池和单晶硅太阳电池金属膜及介质膜蒸镀主要依靠镀膜机来完成。其相关组成及各部件包括:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、分子泵、真空测量系统、膜厚监控系统、加热系统、行星架旋转系统、电子束蒸发系统等。要将所有部分有机融合成一体,需要一个稳定完善的控制系统,介绍了当前全自动进口真空镀膜机系统机电控制原理,并在信号控制原理的基础上阐述了电路故障的分析方法。
陈晓东王磊何方宋健
蒸发用磁偏转电子枪的原理与结构分析被引量：1
2012年
空间用砷化镓太阳电池的介质膜和金属膜的制备主要依靠真空条件下电子枪的蒸发来完成。深入分析电子枪的原理和结构,有利于改善蒸发工艺,如:可根据不同的蒸发材料选择不同的形式的电子枪,确定不同的扫描方式和蒸发功率等,达到更加完美的蒸发效果。
陈晓东王磊何方宋健
关键词：电子枪坩埚电子束蒸发磁场电场
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