刘宗林
- 作品数：5 被引量：87H指数：3
- 供职机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院机电工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 解耦型静电力闭环微陀螺被引量：2
- 2005年
- 微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现XY方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电容作为检测接口实现高精度位置测量。X方向设计了独立的位移检测单元,而Y方向配置了静电力反馈单元,实现系统的闭环静电力反馈控制,提高传感器的性能。为分析提高系统输出精度的条件,推导出影响系统检测灵敏度的因素,改进了驱动模态闭环方案,提出了敏感模态无相差静电力反馈方法。
- 刘宗林李圣怡吴学忠
- 关键词：微机电系统微陀螺
- 微加速度计研究的进展被引量：49
- 2004年
- 介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势。
- 李圣怡刘宗林吴学忠
- 关键词：微加速度计微机电系统
- 新型三轴微加速度计设计被引量：16
- 2004年
- 新型三轴微加速度计采用单一惯性质量 ,由四组L型梁对称布置支撑 ;利用差分电容作为检测接口 ,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移 ;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能 ,实现系统静电力反馈闭环控制。利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作。具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点 ,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域。
- 刘宗林李圣怡吴学忠
- 关键词：微加速度计差分电容微机电系统
- 微硅陀螺性能影响因素及其对策研究被引量：18
- 2003年
- 论述了微硅陀螺的发展概况 ,总结了微硅陀螺的几类典型结构 ,分析了微硅振动陀螺总体性能的影响因素。从制作工艺、材料特性、系统模型的确立及接口设计上详细分析了性能约束因子。针对这些约束因素 。
- 吴学忠刘宗林李圣怡
- 关键词：材料特性接口设计微机电系统
- 叉指式微硅加速度计的参数化设计被引量：3
- 2003年
- 详细阐述了微硅加速度计的原理 ,根据材料力学以及结构动力学原理 ,分析了叉指式驱动 /检测结构的动力学模型 ,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型 ,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系 ,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导 。
- 刘宗林吴学忠李圣怡
- 关键词：参数化设计微机电系统优化设计
