刘玉菲
- 作品数：23 被引量：34H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目上海市科委光科技专项更多>>
- 相关领域：电气工程机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
- 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到MEMS扭转...
- 吴亚明赵本刚徐静刘玉菲高翔李四华
- 文献传递
- 新型MEMS光学电流传感器的设计被引量：3
- 2006年
- 提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测量光信号；温度变化±50K时相应的测试误差为0．2％；器件在大电流下的灵敏度优于0．02dB／A。
- 赵本刚刘玉菲徐静高翔吴亚明
- 关键词：微电子机械系统光学电流传感器滤波温度补偿
- 应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究被引量：1
- 2006年
- 应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过500kPa He气保压2h,BCB封装后样品的气密性达到(5.5±0.5)×10-4Pa cc/s He;剪切力在9.0～13.4 MPa之间,达到了封装工艺要求;封装成品率达到100%.这表明应用BCB材料键合是一种有效的圆片级低温气密性封装方法.还根据渗流模型理论,讨论了简易模型下气密性(即渗流率)和器件腔体边缘到划片边缘的间距的关系.
- 刘玉菲刘文平李四华吴亚明罗乐
- 关键词：低温键合气密性封装苯并环丁烯渗流模型
- 微机电系统扭转微镜面驱动器的研制被引量：8
- 2006年
- 提出了一种新颖的采用键合减薄工艺制作的微机电系统扭转微镜面驱动器,该种微镜面驱动器工艺制作简便可行.通过对研制的微镜面驱动器进行测试,该驱动器在18V驱动电压时可以达到0.3°的扭转角度,微镜面的频率响应时间小于1ms.同时该驱动器具有较大的微反射镜面,面积达到600μm×700μm,试验结果表明微镜面驱动器将可以应用于光通信领域.
- 李四华刘玉菲高翔吴亚明
- 关键词：微机电系统驱动器
- MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究
- 原子钟自1949年出现以来，一直沿着高精度和微型化两个方向高速的发展。微型原子钟在通信、交通、电力、金融、军事国防、航空、航天以及基准物理量的测量等领域有着广泛的应用前景和应用需求。微型芯片级原子钟的广泛应用将会产生深远...
- 刘玉菲
- 关键词：MEMS工艺苯并环丁烯
- 文献传递
- 用苯并环丁烯进行圆片级硅–硅气密性键合被引量：5
- 2006年
- 应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片进行了圆片级低温键合,并研究了其在气密性封装工艺中的应用。测试表明:在250℃的低温键合条件下,封装后样品的气密性优于3.0×10–4Pa.cm3/sHe;剪切力达4.7MPa以上;封装样品合格率达94%以上;通过热循环可靠性测试之后仍具有很好的气密性。BCB是一种较理想的圆片级低温气密性健合封装材料。
- 刘玉菲李四华吴亚明
- 关键词：低温键合气密性封装
- 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
- 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro-Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路，将待测的直...
- 吴亚明赵本刚高翔刘玉菲徐静
- 文献传递
- 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
- 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro－Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路，将待测的直...
- 吴亚明赵本刚高翔刘玉菲徐静
- 文献传递
- 一种低温圆片级微型气体盒的制作方法
- 本发明涉及一种低温圆片级微型气体盒的制作方法，其特征在于利用苯并环丁烯材料进行材料键合和半导体材料的湿法腐蚀或干法刻蚀技术，在250℃的低温条件下键合，实现芯片级气体盒的圆片级气密性封装键合，包括芯片级原子钟气体盒、高精...
- 刘玉菲吴亚明李四华刘文平
- 文献传递
- 一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法
- 本发明涉及一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法，其特征在于所述的磁场传感器是由双端固置式MEMS扭转微镜、磁性敏感薄膜和双光纤准直器构成；金属反馈电极和磁性敏感薄膜之间形成器件扭转间隙；通过调节架，利用光学封装树...
- 吴亚明刘玉菲李四华万助军
- 文献传递
