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周泽龙

作品数:11 被引量:5H指数:1
供职机构:国防科学技术大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

文献类型

  • 6篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇硅片
  • 4篇湿法腐蚀
  • 4篇硅片表面
  • 2篇掩模
  • 2篇热应力
  • 2篇陀螺
  • 2篇微陀螺
  • 2篇芯片
  • 2篇芯片性能
  • 2篇力学性能
  • 2篇划片
  • 2篇激光
  • 2篇激光划片
  • 2篇键合
  • 2篇各向异性
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇保护层
  • 2篇COSMIC
  • 2篇力学性

机构

  • 11篇国防科学技术...

作者

  • 11篇周泽龙
  • 8篇吴学忠
  • 7篇陈志华
  • 7篇肖定邦
  • 6篇胡小平
  • 6篇侯占强
  • 6篇张旭
  • 4篇刘学
  • 3篇王雄
  • 2篇张勇猛
  • 1篇苏剑彬
  • 1篇李圣怡
  • 1篇陶溢
  • 1篇罗彬
  • 1篇谢笛
  • 1篇李浩

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇电脑知识与技...

年份

  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 6篇2011
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
从用户需求提取COSMIC度量关键因子的方法
2013年
COSMIC方法是功能点分析方法的主流,该文提出了COSMIC度量关键因子的概念,并且根据动词事件模型,提出了用户需求提取关键因子的方法,为手工快速度量和基于用户需求的自动度量提供了一定的参考。
周泽龙罗彬
关键词:COSMIC用户需求
硅微机械结构的预埋掩模湿法腐蚀工艺
本发明公开了一种硅微机械结构的预埋掩模湿法腐蚀工艺,包括制备二氧化硅薄膜层、制备掩模图形(初始掩模图形和预埋掩模图形)、初次湿法腐蚀、开启预埋掩模图形和再次湿法腐蚀等工艺步骤,本发明能够将一套掩模图形存储在硅片表面的掩模...
肖定邦吴学忠胡小平陈志华周泽龙侯占强张旭张勇猛刘学
一种多边形截面硅梁的湿法腐蚀制备工艺
本发明公开了一种多边形截面硅梁的湿法腐蚀制备工艺,包括以下步骤:首先制备硅梁斜面;然后在形成硅梁斜面的硅片的正面生成晶棱保护层以保护硅梁斜面,尤其是保护晶棱;最后硅梁成型;作为一个总的发明构思,本发明还公开了一种多边形截...
肖定邦吴学忠胡小平陈志华周泽龙王雄侯占强张旭刘学
文献传递
新型摇摆质量微陀螺的设计与制作(英文)
2011年
首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件.详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计,完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装.利用NF公司的FRA 5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态,其中驱动频率为5.563 2 kHz,检测频率为5.553 4 kHz,频差为9.8 Hz,小于0.2%.利用频谱分析的方法测试了样机的哥氏力.测试结果表明这种摇摆质量微陀螺的设计与制作方法是可行的.
王雄肖定邦周泽龙陈志华吴学忠李圣怡
关键词:微陀螺
杯形波动陀螺高稳定度正弦驱动技术研究被引量:3
2011年
杯形波动陀螺具有极高的Q值,一般都在20 000以上,因此仅仅0.3‰的驱动信号频率误差都会使陀螺机械灵敏度降低99%以上。针对这一问题实现了一种基于直接数字频率合成的高性能正弦信号生成算法,以此为基础从统计域的角度对引起频率源抖动的根源进行了估计分析,并给出了一种具有针对性的抖动分离方法,为频率源的设计提供了理论指导和依据,降低了修正和优化频率源的盲目性。由阿伦方差可知采用抖动分离方法优化后,频率源短期稳定度提高约为20%。通过对设计的频率源进行一系列时域和频域测试分析,证明最终的驱动信号频率稳定在1 mHz以内。
谢笛吴学忠苏剑彬陶溢周泽龙李浩
四叶片微陀螺结构设计与加工工艺研究
振动式微陀螺是利用哥氏效应工作的测角传感器,以其外形尺寸小、质量轻、功耗低、启动快、成本低、可靠性高和易于数字化等优点已逐步在军用和民用市场得到广泛的应用。四叶片微陀螺是一种具有完全对称的驱动模态和检测模态的微陀螺,它的...
周泽龙
关键词:微陀螺谐振频率
文献传递
带有热应力释放结构的键合晶圆及激光划片工艺
本发明了公开了一种带有热应力释放结构的键合晶圆,包括相互贴合的玻璃晶圆和硅片晶圆,键合晶圆的键合接触面附近开设有用于激光划片的热应力释放结构,热应力释放结构沿拟定的激光划片轨迹对应设置;本发明的键合晶圆的应力释放结构可防...
吴学忠肖定邦陈志华张旭胡小平侯占强周泽龙
文献传递
硅微机械结构的预埋掩模湿法腐蚀工艺
本发明公开了一种硅微机械结构的预埋掩模湿法腐蚀工艺,包括制备二氧化硅薄膜层、制备掩模图形(初始掩模图形和预埋掩模图形)、初次湿法腐蚀、开启预埋掩模图形和再次湿法腐蚀等工艺步骤,本发明能够将一套掩模图形存储在硅片表面的掩模...
肖定邦吴学忠胡小平陈志华周泽龙侯占强张旭张勇猛刘学
文献传递
可实施的COSMIC方法研究
COSMIC方法是通用软件度量国际协会依据软件工程等的基本原理开发的一种软件规模度量方法,主要应用于商业软件、实时软件和中间件。由于COSMIC度量手册中并没有对度量实施进行详细的说明,导致度量人员在度量实施中存在着主观...
周泽龙
关键词:软件开发软件测试程序语言
带有热应力释放结构的键合晶圆及激光划片工艺
本发明公开了一种带有热应力释放结构的键合晶圆,包括相互贴合的玻璃晶圆和硅片晶圆,键合晶圆的键合接触面附近开设有用于激光划片的热应力释放结构,热应力释放结构沿拟定的激光划片轨迹对应设置;本发明的键合晶圆的应力释放结构可防止...
吴学忠肖定邦陈志华张旭胡小平侯占强周泽龙
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