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张彦辉
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电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗小蓉
电子科技大学
尹超
电子科技大学
周坤
电子科技大学
魏杰
电子科技大学
张波
电子科技大学
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2015
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2014
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一种功率MOS器件
本发明属于功率半导体器件技术领域,涉及一种功率MOS器件。本发明包括具有高K介质延伸栅结构的元胞结构、漏延伸区和介质槽终端,且多个元胞结构并联排布,使得器件具有以下特点:兼顾VDMOS可并联产生大电流以及LDMOS易集成...
罗小蓉
尹超
谭桥
张彦辉
刘建平
周坤
魏杰
马达
吴俊峰
文献传递
一种横向SOI功率半导体器件
一种横向SOI功率半导体器件,属于功率半导体器件技术领域。器件元胞结构包括衬底、绝缘介质层及绝缘介质层上方的器件有源层,器件有源层包括源区、漏区、栅和漂移区;其中源区和漏区之间的漂移区由两个平行于器件横向方向的第一半导体...
罗小蓉
王骁玮
范叶
范远航
尹超
魏杰
蔡金勇
周坤
张彦辉
张波
李肇基
文献传递
一种LDMOS器件的制造方法
本发明属于半导体技术,具体的说是涉及一种LDMOS器件的制造方法。本发明LDMOS器件制造方法的主要步骤为:在第二导电类型半导体衬底上表面生成第一导电类型半导体有源层;在第一导电类型半导体有源层上层键合剥离形成介质隔离层...
罗小蓉
张彦辉
刘建平
谭桥
尹超
魏杰
周坤
吕孟山
田瑞超
张波
文献传递
一种横向MOSFET器件的制造方法
本发明属于半导体技术,具体的说是涉及一种槽型横向MOSFET器件的制造方法。本发明的方法主要为:通过刻蚀深槽、倾斜离子注入、高温退火、外延等工艺步骤,使注入的离子与硅反应形成U型介质层,同时在介质层表面仍保留有单晶硅层,...
罗小蓉
刘建平
张彦辉
谭桥
尹超
周坤
魏杰
阮新亮
李鹏程
张波
文献传递
一种LDMOS器件的制造方法
本发明属于半导体技术,具体的说是涉及一种LDMOS器件的制造方法。本发明LDMOS器件制造方法的主要步骤为:在第二导电类型半导体衬底上表面生成第一导电类型半导体有源层;在第一导电类型半导体有源层上层注入离子形成介质隔离层...
罗小蓉
张彦辉
刘建平
谭桥
尹超
魏杰
周坤
马达
徐青
张波
文献传递
一种槽栅功率MOSFET器件
本发明属于功率半导体技术领域,特别涉及一种槽栅功率MOSFET器件。本发明有以下特点:一、采用横向重掺杂半导体漏区和纵向漏延伸区,从而使器件同时具有VDMOS可并联产生大电流和LDMOS易集成的优点;二、采用分段沟槽栅结...
罗小蓉
吕孟山
尹超
张彦辉
马达
吴俊峰
阮新亮
葛薇薇
文献传递
一种槽型MOS功率器件
本发明属于功率半导体技术领域,特别涉及一种槽型MOS功率器件。本发明的槽型功率MOS器件具有槽栅结构和槽源结构,不仅保持功率VDMOS可并联产生大电流和元胞尺寸小的特点,而且兼具可集成的优点。在反向耐压状态下,槽栅结构和...
罗小蓉
尹超
刘建平
谭桥
张彦辉
田瑞超
吕孟山
马达
文献传递
一种具有结型场板的SOI功率LDMOS器件
一种具有结型场板结构的SOI功率LDMOS器件,属于功率半导体器件技术领域。这种JFP SOI LDMOS器件采用PN结作为场板,并利用高K介质作为场板介质。一方面,结型场板的PN结电场调制器件表面电场,改善器件的电场分...
罗小蓉
罗尹春
范远航
徐青
魏杰
范叶
王骁玮
周坤
张彦辉
尹超
张波
李肇基
文献传递
一种横向IGBT
本发明属于功率半导体器件技术领域,涉及一种横向IGBT。本发明的横向IGBT器件,其技术方案是:SOI层上层两端分别具有P型阱区和N型阱区;N型阱区表面远离P型阱区的一端具有P型阳极区,P型阱区表面远离N型阱区的一端具有...
罗小蓉
邓高强
周坤
吴俊峰
张彦辉
文献传递
一种具有延伸栅结构的SOI LDMOS器件
一种具有延伸栅结构的SOI LDMOS器件,属于半导体功率器件技术领域。本发明在常规SOI LDMOS器件漂移区表面引入从多晶硅栅延伸至漏电极的延伸栅结构。在延伸栅结构中引入在器件开态时反向偏置的PN结来减小泄漏电流。延...
罗小蓉
李鹏程
田瑞超
徐青
张彦辉
魏杰
石先龙
张波
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