李爱东
- 作品数：124 被引量：34H指数：3
- 供职机构：南京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法
- 本发明公开了一种超高密度单层纳米晶存储器的制备方法，先用ALD方法在干净的半导体衬底上生长一层3~10nm厚的高介电隧穿层，形成高介电薄膜；接着将3～8nm粒径可控、单分散好的金属纳米颗粒浸渍涂覆或旋涂在高介电薄膜上，自...
- 刘晓杰李爱东高墨昀李学飞吴迪
- 文献传递
- 等离子体增强原子层沉积原理与应用被引量：7
- 2012年
- 等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。简要介绍了PEALD的发展历史和生长原理。描述了PEALD常见的三种设备构造:自由基增强原子层沉积、直接等离子体沉积和远程等离子体沉积,比较了它们的优缺点。着重评述了PEALD的特点,主要具有沉积温度低、前驱体和生长材料种类广、工艺控制灵活、薄膜性能优异等优势,但也面临着薄膜三维贴合性下降和等离子体损伤等挑战。列举了PEALD的一些重要应用,如在金属薄膜制备、铜互连阻挡层、高介电常数材料、薄膜封裹等领域的应用。最后展望了PEALD的发展前景。
- 曹燕强李爱东
- 关键词：等离子体金属薄膜高介电材料
- 新型工科研究生课程体系建设探索--以南京大学现代应用与工程学院为例被引量：12
- 2018年
- 建设新型工科研究生课程体系意义重大,需要针对知识结构、授课方式、师资队伍和课程系统性等制约新型工科研究生培养的主要问题,结合国家要求、社会需求和国际经验确立建设目标,通过优化研究生培养方案、借鉴名校课程建设经验、打造国际水准教师团队、重视实践型课程教学、出版一流研究生教材等手段,构建体现学科特色、学科交叉、本硕博贯通、国际一流水准的新型工科研究生课程体系。
- 陈谦李爱东叶鹏飞
- 关键词：课程体系研究生培养
- 不挥发电荷存储器件的制备方法、所得不挥发电荷存储器件及其应用
- 本发明涉及不挥发电荷存储器件的制备方法、所得不挥发电荷存储器件及其应用。所述不挥发电荷存储器件的制备方法，具体步骤如下：a)用原子层化学气相沉积方法在衬底表面沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>，形...
- 汤振杰刘治国殷江夏奕东李爱东
- 文献传递
- 一种可见光催化剂BiNbO<Sub>4</Sub>、其制备方法及应用
- 本发明公开了一种可见光催化剂BiNbO<Sub>4</Sub>、其制备方法及应用，催化剂制备方法是：将铌前体和可溶性铋盐混合，搅拌后形成透明溶液；在60～80℃条件下搅拌，调节pH值到7～8；将调节好的溶液在80～250...
- 翟海法李爱东孔继周吴迪
- 文献传递
- 一种清洗钝化Ge衬底表面的方法
- 本发明公开了一种清洗钝化Ge衬底表面的方法，首先将锗衬底在丙酮、甲醇中依次超声清洗，然后将锗衬底移到5-20％(重量比)的氢溴酸水溶液中，室温下清洗3-15分钟，接着用高纯氮气吹干，再放入15-50％(重量比)的硫化铵水...
- 李学飞李爱东龚佑品翟海法李辉吴迪
- 文献传递
- 一种锌基无机-有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法
- 本发明公开了一种锌基无机‑有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法，属于分离膜材料领域，采用淋浴式分子层沉积技术，一步直接制备无机‑有机多孔纳米分离膜，无需任何后处理工艺，工艺简单，非常有利于大规模生产。本发明包括：准备杂化多孔...
- 李爱东刘畅曹燕强吴迪
- 文献传递
- 一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用
- 本发明公开了一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD方法沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用，该合成方法首先是将发烟硝酸和五氧化二磷反应，产生的氮氧化物气体在低温下成为固态五氧化二氮；使固态五氧化二氮逐渐液化，伴随四氧化...
- 李爱东章闻奇黄柳英邵起越吴迪
- 文献传递
- 外加电场控制胶体粒子自组装及三维光子晶体的制备
- 外加电场控制胶体粒子自组装及三维光子晶体的制备方法:首先对制备的二氧化硅等径微球悬浮液调节pH值4－12,然后通过在微球悬浮液中施加直流外电场,电场强度为50－500V/cm,使带某种特定电荷的微球在外电场的作用下,在平...
- 唐月锋李爱东吴迪陈延峰闵乃本
- 文献传递
- 一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器及其制备方法
- 本发明公开了一种具有多级存储功能的无机‑有机杂化纳孔薄膜阻变存储器，属于半导体微电子器件领域，本发明的阻变存储器结构从下往上依次为衬底、活性电极、阻变功能层、惰性电极；所述阻变功能层为无机‑有机杂化纳米多孔薄膜材料。本发...
- 李爱东孙松雷锦刘畅吴迪
