杨晓飞
- 作品数：7 被引量：82H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 利用离轴三反镜光学系统确定各镜的装调公差被引量：16
- 2005年
- 利用条纹泽尼克系数与赛德尔像差的关系,在三反镜光学系统的出瞳面上,用条纹泽尼克系数来表示系统的波像差。通过光学设计软件Zemax计算得到三反镜光学系统各镜的装调公差,以公差要求高的镜面作为装调基面,从而减少要调整的自由度。通过分析泽尼克(Zernike)系数在公差范围内的变化幅度来确定光学系统在出瞳面上各个像差的变化幅度,用该幅度的变化量来决定主次三镜各自由度在各个方向上的敏感度,最终确定各个自由度的优化调整级别。对一大口径无遮拦离轴三反镜光学系统进行了装调,在波长λ=632.8nm的条件下进行了检测。结果表明:整个光学系统全视场波前误差的均方根值RMS=0.108λ。
- 杨晓飞韩昌元
- 关键词：公差
- 三反射镜光学系统的计算机辅助装调技术研究
- 计算机辅助装调技术是随着光学系统发展而发展起来的技术。本文首先介绍了计算机辅助装调技术发展背景，国内外计算机辅助装调技术的发展历史及发展现状。总结了用于计算机辅助装调技术中的光学检测手段以及该技术的优化算法，分析了进行计...
- 杨晓飞
- 文献传递
- 大口径长焦距大视场无遮拦离轴三反镜光学系统的装调
- 离轴三反镜光学系统具有体积小、结构紧凑、无中心遮拦、校正二级光谱容易、视场可以做大、焦距可以做长、口径可以做大等优点,被国内外同行广泛关注。现在,离轴三反镜光学系统被用作航天遥感光学系统以及高精度的极紫外光刻系统,由于离...
- 杨晓飞韩昌元
- 文献传递
- Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用被引量：40
- 2004年
- 利用Zemax光学设计软件与自编计算机辅助装调软件,实现了对大口径、长焦距、无中心遮拦离轴三反射镜光学系统的装调。通过Zemax软件模拟光学系统的失调模式,得到整个光学系统的波前像差,把波前像差代入到自编的复杂光学系统计算机辅助装调软件中,计算出光学系统的失调量,与引入的失调量对比,证明了其正确性。在实际的装调过程中,用小型球面干涉仪分别收集3个视场的干涉图,得到失调光学系统的失调量,用Zemax软件验证失调量数据的正确性,从而指导装调。按此方法,在波长λ=632.8nm时,得到离轴三反射镜光学系统的全视场波像差RMS值为0.108λ。该方法也可以运用到其他光学系统中。
- 杨晓飞张晓辉韩昌元
- 关键词：计算机辅助装调
- 胶片式光学仪器整体MTF测试方法研究
- 调制传递函数(MTF)是评价光学系统整体成像质量的重要指标,但对于使用胶片的光学仪器来说,测试其整体的MTF十分困难,目前在光学系统检测中还得不到实际应用。基于信息光学原理,对成像在胶片上的分辨率板的图案的傅里叶频谱进行...
- 李宏壮韩昌元田园杨晓飞王鑫张晓辉
- 关键词：MTF傅里叶变换空间频率灰度
- 文献传递
- 用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统被引量：23
- 2004年
- 在对复杂光学系统粗装调完成之后 ,利用自准干涉检验的办法 ,采集光学系统各视场的干涉图 ,然后用干涉条纹分析软件算出整个系统波前误差 ,其量值用泽尼克系数来表示 ,通过泽尼克系数与系统的波像差的关系 ,判断要调整的目标值 ,即当前在光学系统中占主导地位的波前误差 ,对主导误差优化 ,得到系统的失调量 ,由光学设计软件确定其正确后 ,进行一次精密装调。然后进行多次这样的计算机迭代和优化 ,直到光学系统达到最好的调整状态。运用此方法来装调大口径 ,长焦距离轴三反射镜系统 ,在波长λ等于 6 32 .8nm时 ,该离轴三反射镜系统中心视场波像差均方根值达到了 0 .0 94λ ,+1°视场和 - 1°视场的均方根值分别为 0 .10 6λ和 0 .12 5λ。
- 杨晓飞张晓辉韩昌元
- 关键词：计算机辅助装调
- 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究被引量：6
- 2004年
- 通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象,并结合计算机辅助装调技术,确定在检测过程中相对敏感的自由度,然后控制这些量,使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合,在Zygo相位干涉仪上测得最终结果。在λ=632.8nm时,中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ,0.037λ,0.032λ。检测结果,达到预期目的。
- 杨晓飞韩昌元
- 关键词：离轴非球面计算机辅助装调
