江洪敏
- 作品数：60 被引量：80H指数：6
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：重庆市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术建筑科学更多>>
- 三维纳米结构声表面波气敏传感器
- 本实用新型涉及三维纳米结构声表面波气敏传感器，包括压电基底，置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区，敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间，敏感区上具有三维纳...
- 王露杨靖马晋毅杜波江洪敏司美菊王登攀祖小涛李志杰唐永亮
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- 异构集成无源射频滤波器的射频前端模拟集成芯片
- 本实用新型公开了一种异构集成无源射频滤波器的射频前端模拟集成芯片，包括射频滤波器和射频集成电路，射频滤波器包括射频滤波器衬底和射频滤波器芯片电路，射频集成电路包括射频集成电路衬底、射频集成电路芯片电路、接地金属层或深阱和...
- 杜波马晋毅江洪敏徐阳杨靖
- 文献传递
- 二氟化氙释放牺牲层多晶硅刻蚀速率研究
- 2016年
- 该文研究了相关工艺参数对二氟化氙(XeF_2)干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器(FBAR)悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N_2流量的增大,刻蚀速率先增加后减少,刻蚀速率最大值为10.3μm/min;载气N2流量不变时,腔室压力越大,工艺腔室参与刻蚀反应的XeF_2气体的浓度增大,刻蚀速率越大。当腔室压力超过1 200Pa时,随着腔室压力的增加,刻蚀速率的增长率逐渐减小。
- 司美菊杜波田本朗徐阳金成飞蒋欣江洪敏马晋毅
- 关键词：空气隙干法刻蚀刻蚀速率粗糙度
- 一种异构集成无源射频滤波器的射频前端模拟集成芯片
- 本发明公开了一种异构集成无源射频滤波器的射频前端模拟集成芯片，包括射频滤波器和射频集成电路，射频滤波器包括射频滤波器衬底和射频滤波器芯片电路，射频集成电路包括射频集成电路衬底、射频集成电路芯片电路、接地金属层或深阱和钝化...
- 杜波马晋毅江洪敏徐阳杨靖
- 文献传递
- 微声薄膜耦合谐振滤波器有限元建模与仿真被引量：3
- 2012年
- 针对一维等效电路仿真模型不能对滤波器振动模式进行仿真的局限性,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器二维和三维的有限元模型,仿真分析了滤波器在对称谐振频率和反对称谐振频率下的振动模式,并通过频率响应分析得到了滤波器的S参数。仿真结果表明,采用有限元分析法可实现微声薄膜耦合谐振滤波器几何参数以及电极结构的优化设计。
- 杜波马晋毅江洪敏杨靖徐阳
- 关键词：有限元
- 用于PD雷达欺骗干扰的声表面波延迟线组件被引量：3
- 2002年
- 先进的脉冲多普勒 (PD)雷达采用的信号脉冲具有相参性 ,又能进行相关处理 ,极大地提高了其抗干扰性能。而声表面波延迟线输入输出载频不变 ,并能始终保持脉冲的相参性 ,用于 PD雷达欺骗干扰 ,是实用的方案。文章介绍了研制的声表面波可编程延迟线和多抽头延迟线组件 ,首次用于 PD雷达欺骗干扰 ,应用前景良好。
- 刘刚江洪敏杨晓东
- 关键词：声表面波延迟线PD雷达欺骗干扰电子干扰脉冲多普勒雷达
- 一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法
- 本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法，该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜，底电极采用WSi材料制成，压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极...
- 欧黎徐阳江洪敏司美菊姜华男张永川马晋毅龙飞杜波蒋欣金成飞田本朗
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- 一种新型SAW气体传感器的设计被引量：3
- 2015年
- 提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。
- 王露王登攀杜波鄢秋娟张静雯唐永亮杨靖江洪敏
- 关键词：声表面波纳米线气体传感器比表面积灵敏度
- 薄膜体声波谐振器结构及其制造方法
- 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器结构的制造方法及薄膜体声波谐振器结构。该薄膜体声波谐振器结构的制造方法其包括步骤：于载片上形成薄膜体声波谐振器；于衬底上形成空腔；将薄膜体声波谐振器搭载在该空腔；形成该薄膜体声波谐振器的电极...
- 杜波马晋毅米佳江洪敏
- 文献传递
- 双声路声表面波毒剂传感器的设计被引量：2
- 2009年
- 对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据。
- 陈传治马晋毅左伯莉江洪敏
- 关键词：声表面波谐振器毒剂气体传感器
