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王行军

作品数：25 被引量：7H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 18篇陀螺
  • 18篇陀螺仪
  • 13篇微陀螺
  • 13篇硅微陀螺仪
  • 6篇毛发
  • 6篇解耦
  • 6篇加速度
  • 6篇刚度
  • 6篇玻璃衬底
  • 6篇衬底
  • 5篇子结构
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇微传感器
  • 4篇刚度效应
  • 4篇硅
  • 3篇机械耦合误差
  • 3篇加速度计
  • 3篇角速度

机构

  • 25篇东南大学
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇南京信息工程...

作者

  • 25篇王行军
  • 24篇杨波
  • 18篇戴波
  • 14篇胡迪
  • 8篇柳小军
  • 7篇殷勇
  • 4篇赵辉
  • 3篇吴磊
  • 1篇袁安富
  • 1篇赵辉
  • 1篇赵磊

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 7篇2017
  • 3篇2016
  • 6篇2015
  • 7篇2014
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置
本实用新型公开一种MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置，该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过驱动...
杨波邓允朋王行军胡迪吴磊
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基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪
本发明公开一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪。该陀螺仪包括垂直两层，上层为硅微陀螺仪的机械模块，下层为敷有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械模块由两个完全相同的子模块构成，且水平对称放置，两个敏感质量块之间分...
杨波戴波邓允朋柳小军王行军胡迪
文献传递
一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪
本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；本发...
杨波邓允朋殷勇戴波王行军胡迪
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基于集成温度传感器的硅微陀螺仪数字化温度补偿研究被引量：6
2014年
提出了一种基于集成温度传感器的硅微陀螺仪数字化温度补偿方法。首先,介绍了集成温度传感器的硅微陀螺仪基本结构原理,分析了硅微陀螺仪动力学方程以及温度变化对硅微陀螺仪谐振频率、品质因数、标度因数和零偏的影响。然后,设计了基于FPGA的硅微陀螺仪数字化补偿电路。最后,经过温度特性实验得到标度因数和零偏随温度变化曲线,建立了温度补偿模型,提出分段温度补偿方法。经过温度补偿后,标度因数和零偏的温度系数分别由316.66×10-6/℃和366.22°/(h·℃)减小为69.67×10-6/℃和115.25°/(h·℃),证明了补偿方法的正确性和可行性。
柳小军杨波袁安富赵辉王行军
关键词：硅微陀螺仪零偏标度因数温度补偿
一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪
本发明公开了一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，所述中层硅微传感器包括圆形质量块以及与圆形质量块同圆心的环形质量块，所述圆形质量块和环形质量块之间设置有...
杨波胡迪戴波王行军
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基于杠杆放大原理的双轴全解耦硅微谐振式加速度计
本发明公开一种基于杠杆放大原理的双轴全解耦硅微谐振式加速度计。该加速度计包括上下两层，上层为硅微加速度计的机械结构，下层为敷有信号引线的玻璃衬底。机械结构由敏感质量、公共锚点、杠杆放大机构、解耦梁和谐振器构成，解耦梁一端...
杨波戴波赵磊柳小军邓允朋王行军胡迪
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硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪
本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包...
杨波戴波殷勇邓允朋王行军
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网格状MEMS神经微探针及其制备方法
一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹...
杨波王行军殷勇
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双质量式硅微振动陀螺仪
本实用新型公开一种双质量式硅微振动陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量...
杨波戴波殷勇邓允朋王行军
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三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路
本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路，其特征在于，包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路，其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第...
杨波赵辉柳小军戴波王行军邓允朋
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